변위센서는 물체가 일정 위치에서 다른 위치로 이동했을 때 그 이동량을 측정하는 것으로 변위뿐만 아니라 물체의 높이나 폭, 두께 등의 치수 측정에도 이용할 수 있습니다. 이러한 이동량을 측정하는 방식에는 자계나 빛, 음파를 매체로 한 비접촉식과 다이얼 게이지나 차동 변압기 등과 같은 접촉식 변위 센서가 있습니다.
1. 와전류식 변위 센서
고주파 자계를 이용한 것으로 센서 헤드 내부의 코일에 고주파 전류를 흐르게 하여 고주파 자계를 발생시킵니다. 이 자계 안에 측정 대상물이 있으면 전자 유도 작용에 의해 대상물 표면에 자속이 통과하고 수직 방향의 와전류가 흘러 센서 코일의 임피던스가 변합니다.
와전류식 변위센서는 이러한 현상에 따른 발진 상태의 변화를 이용하여 거리를 측정합니다.
2. 레이저식 변위 센서
삼각 측정을 응용한 방식이고 발광소자와 광위치 검출 소자가의 조합으로 구성되어 있습니다. 발광소자에는 반도체 레이저가 이용되고 있고 빛은 투광렌즈를 통하여 집광된 후 측정 대상물에 조사됩니다. 대상물에서 확산 반사된 광선의 일부는 수광 렌즈를 지나 광위치 검출 소자 상에 스폿을 이룹니다. 대상물이 이동할 때마다 스폿도 이동하므로 이 스폿의 위치를 검출하면 대상물까지의 변위량을 알 수 있습니다.
3. 초음파식 변위 센서
센서 헤드에서 초음파를 발신하여 대상물에서 반사되어 온 초음파를 다시 센서 헤드에서 수신하는데 이 음파의 발신에서 수신까지의 시간을 계측하여 거리를 측정하비낟.
4. 접촉식 변위 센서