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한국폴리텍대학 청주캠퍼스 반도체
 
 
 
 
 
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2026 하이테크 반도체공정 Part 02 Part 02_OCR_10 초순수 위에 극초순수쌓다. 에피텍시 기술
김윤경 추천 0 조회 33 26.04.03 10:27 댓글 9
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댓글
  • 26.04.03 11:17

    첫댓글 에피텍시
    에피텍셜
    Vpe 공정
    MFP
    다중챔버
    아키텍처
    클러스터방식

  • 26.04.03 11:19

    에피텍셜방식
    잉곳
    결정질
    비정질층 증착
    단결정 격자층
    격자상수
    비정질격자
    격자정합
    부정합
    에피텍셜층

  • 26.04.03 11:19

    에피텍셜층
    잉곳
    N-WELL
    CMOSFET
    시드 웨이퍼
    화학기상증착
    베치

  • 26.04.03 11:22

    에피텍셜층
    N-well
    CMOSFET
    시드
    에피텍셜 그로스
    에피텍시
    에피층
    무결점 필드
    단결정 격자
    전자 트랩

  • 26.04.03 11:25

    N-Well
    CMOSFET
    VPE
    화학기상증착
    비정질층
    전자트랩
    드레인 전류
    게이트전압
    평균자유행로
    비정질격자
    격자상수
    부정합
    격자정합
    호모-에피텍시
    헤테로-에피텍시
    시드격자
    보이드
    힐락
    전자포획

  • 26.04.03 11:28

    에피텍셜
    비정질층
    평균자유행로
    호모,헤테로 에피텍시
    힐락
    격자정합
    다중 챔버

  • 26.04.03 11:45

    에피텍셜
    VPE
    평균자유행로
    격자정합

  • 26.04.03 13:31

    에피텍셜방식
    잉곳
    결정질
    비정질층 증착
    단결정 격자층
    격자상수
    비정질격자
    격자정합
    부정합
    에피텍셜층

  • 26.04.03 13:33

    비정질격자
    격자상수
    부정합
    격자정합
    호모-에피텍시
    헤테로-에피텍시
    시드격자
    보이드

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