진공펌프의 점검

[그림자]

진공펌프의 점검

진공펌프의 점검

가동전 점검사항

① 유면계를 확인하여 윤활유가 유면계 상 중앙보다 많을 경우 드레인(drain)시키고 적을 경우에 보충합니다.

② 드레인 밸브를 열어서 물이 배출될 경우에 물을 완전히 배출하고 오일(oil)을 보충합니다.

③ 3일이상 지난 후 가동시에 손으로 2∼3회돌린 후 전원을 투입합니다.

Gas ballast valve 사용 방법

① 유회전 진공펌프로 수증기를 배기할 경우 수증기의 압력이 일정치를 넘어서면 수증기는 펌프내에서 응축되어 오일의 중간에 혼입됩니다. 이 경우 도달압력과 배기 속도가 나빠지고 오일과 오일씰(oil seal)을 상하게 하여 펌프를 고장시키는 원인이 됩니다.펌프의 압축과정에 있어서 펌프내에 공기를 유입하면 수증기의 분압이 포화증기압에 도달하기 전에 실린더 내의 공기와 수증기는 같이 펌프 밖으로 배기 됩니다.

② Gas ballast valve는 실린더 내에 신선한 공기를 유입하기 위한 목적으로 실린더 내의 공간과 외부를 연결하는 배관입니다.

③ Gas bllast valve로부터 유입되는 공기의 양은 배기하는 가스의 온도와 압력 등에 의해 달라져야 합니다. 불필요하게 밸브를 많이 열어 놓으면, 도달 진공도가 떨어지고 펌프의 부하가 과중됩니다. 또한, 펌프에 흡입되는 가스의 온도가 진공펌프의 운전시 온도보다 높으면 Gas ballast valve를 사용하여도 액화되기 때문에 의미가 없어집니다. 이 경우 냉각트랩을 이용하여 흡입 가스의 온도를 낮추어 주면 효과적입니다.

④ Gas ballast valve를 사용할 경우

a. 수증기를 배기할 경우 - 응축을 방지하기 위해 밸브를 연 상태로 운전합니다.

b. 오일과 물이 섞인 경우 - Gas ballast valve로 수증기를 처리하는 능력은 한계가 있습니다. 이 한계를 넘어선 압력의 수증기를 흡입하면 펌프 속이 물로 오염되고 동시에 오일 중에 물이 혼합되기 시작합니다.

높은 압력에서 운전

진공펌프를 38 torr 이상의 높은 흡입 압력으로 연속해서 운전하는 경우, 펌프의 온도상승에 주의할 필요가 있습니다. 만약, 펌프 실린더의 온도가 약 100℃를 넘어서 유지되면, 윤활유나 패킹 등 을 노화시키므로 온도가 60℃로 복귀될 때까지 운전을 중단하거나 무부하 운전을 실시해 주십시오.

진공 윤활유

① 폐사의 지정 윤활유인 MR-200이나 Ultra IC-200을 사용하시기 바랍니다. 윤활유의 점도 및 증기압에 따르면 펌프에 과부하가 걸려 고장을 초래할 수 있습니다.

② 윤활유의 양이 부족하면 진공도가 떨어지고 펌프가 과열되어, 반대로 윤활유 양이 너무 많으면 배기부에 압이 걸리고 유연이 발생하게 됩니다.

③ 윤활유 교환 시기

a.정상적인 가동시에 최초 50시간, 주기적으로 500시간

b.응축성 증기 배기시 최초 50시간, 드레인 밸브를 열어서 물이 배출될 때에는 물을 완전히 배출하고 윤활유를 보충합니다. 5일 이상 가동을 정지했을 경우에 윤활유를 교환하고 Oil flushing을 한 후 보관합니다

윤활유 교환 방법

① 윤활유의 배출은 펌프를 약 30분 운전하여 윤활유에 열을 가하면 쉽게 할 수 있습니다

② 윤활유 박스의 아래 부분에 용기를 준비한 후, 드레인(drain) 밸브를 열어 배출시키십시오

③ 배출한 윤활유가 심하게 오염된 경우, 또는 부식성 가스 및 윤활유에 용해된 가스를 배가한 후에 Oil flushing을 행할 필요가 있습니다. 윤활유를 배출한 후 드레인 밸브를 닫고, 새로운 윤활유를 주입 후 대기압에서 몇 분간 펌프를 운전한 후 펌프를 정지시켜 윤활유를 배출하십시오.

④ 윤활유를 배출한 후 드레인 밸브를 닫고 새로운 윤활유를 공급하십시오.

⑤ 윤활유 교환과 동시에 흡기구 필터를 유기 용제로 세정하여 충분히 건조한 후 다시 부착하십시 오.

주기적인 보수 연한

번호	보 수 항 목	주 기
1	Oil level을 확인	운전시 매번
2	Oil 교환	오일교환 시기 참조
3	HV valve를 점검하고, 만약 손상되었다면 교환하십시오.	15개월 마다
4	LV valve를 점검하고, 만약 손상되었다면 교환하십시오	"
5	Drive shaft의 oil seal에서 oil의 누설이 없는지 점검	"

고장 대책 요령

문제점	원 인	처 리
펌프가 회전하지 않는다	1) 기온이 낮고, 윤활유의 점도가 높다	1) 손으로 2∼3회 회전 후 기동
	2) 윤활유를 오염시키는 물질을 배기한 후 장기간 정지하여 윤활유가 변질되었다	2) 오일 교환 및 flushing 후 가동
	3) 부식성의 가스를 배기한 후 장기간 정지하여 펌프가 부식되었다	3) 분해·세정하고 다시 조립하십시오.
	4) 모터에 공급되는 전원이 부족하다	4) 전원 및 모터 단자의 접속을 확인하십시오
도달 압력이 나쁘다	1) 윤활유(oil)가 부족하다.	1) 윤활유를 보충하십시오.
	2) 윤활유가 오염되었다.	2) 윤활유를 교환하십시오.
	3) 윤활유 경로가 막혔다.	3) 분해·세정하고 다시 조립하십시오.
	4) O-ring이 파손되었다.	4) O-ring을 교환하십시오.
	5) Oil seal이 파손되었다.	5) Oil seal을 교환하십시오.
	6) HV 또는 LV 배기 valve가 파손되었다.	6) 배기 valve를 교환하십시오.
	7) Gas bllast valve가 열려있다.	7) handle을 돌려서 죄여 주십시오
	8) Motor의 회전방향이 다르다.	8) 모터 단자에서 2상을 바꿔주십시오.
	9) Motor의 압력전압이 낮다.	9)전원의 전압을 확인하십시오.
펌프의 소음이 크다	1) 윤활유의 온도가 낮다.
	2) 윤활유가 오염되었다.	2) 윤활유를 교환하십시오.
	3) HV 또는 LV의 valve가 파손되었다	3) 밸브를 교환하십시오.
펌프가 과열되었다	1) 높은 흡입압으로 운전을 하고 있다.
	2) 배기의 배관이 막혔다.	2) 배관을 확인하십시오.
	3) 윤활유가 오염되었다.	3) 윤활유를 교환하십시오
	4) 모터의 압력전압이 높다.	4) 전원의 전압을 확인하십시오.
Oil leaks	1) Oil seal이 파손되었다.	1) Oil seal을 교환하십시오.
	2) Oil box gasket이 파손되었다.	2) 새로운 것으로 교환하십시오.