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고속·고정밀 Flip & Pick & Place 솔루션
Flipper & Pick & Place System은 반도체 후공정에서 패키지의 정밀 방향 전환(Flip) 및 자동 이송을 수행하는 고속·고정밀 자동화 장비입니다.
Metal Tray, Plastic Tray, J-Boat, Waffle Pack 등 다양한 캐리어 타입에 대응하며, Vision 기반 정밀 얼라인 기술을 통해 ±10 µm 수준의 정밀 배치를 구현합니다.
시스템 개요
본 장비는 다음과 같은 공정 흐름을 기반으로 동작합니다.
Pick → Pre-Align → Vision 정렬 → Buffer → Flip → Buffer → Place
Flip 공정 시 Buffer Stage를 활용하여 위치 오차를 최소화하고, 고속·안정적인 공정 수행이 가능합니다.
주요 특징
✔ 고정밀 모션 제어
- 반복 정밀도: ±5 µm
- 배치 정밀도: ±10~25 µm
- Direct Drive Theta Axis (0~360°) 적용
- 저진동 고강성 프레임 구조
✔ Vision 기반 정밀 얼라인
- Sub-pixel 알고리즘 적용
- Crack / Marking / Orientation 검사 옵션
- ≤5 µm/pixel 해상도
✔ 다중 캐리어 대응
- Metal Tray
- Plastic Tray
- J-Boat
- Waffle Pack
✔ 유연한 공정 구성
- Tray ↔ Tray (Flip 포함)
- Tray ↔ Boat (Flip 포함)
- Boat ↔ Boat (Flip 포함)
- Buffer 기반 안정적 Flip 구조
※ 일부 Metal ↔ Plastic 직접 Flip 공정은 구조상 제한될 수 있습니다.
✔ 스마트 자동화 시스템
- NG / OK 자동 분류 기능
- Recipe 관리 기능
- SECS/GEM Interface (옵션)
- MES 연동 가능
- 공정 이력 관리 (Traceability)
✔ 시스템 성능
| 항목 | 사양 |
| 전체 Cycle Time | ≤ 2.0 sec |
| 처리 능력 | 최대 1,200 pcs/hour |
| 회전 정밀도 | ±0.1° |
| MTBF | ≥ 3,000 시간 |
| 소음 | ≤ 70 dB |
| ESD 대응 | IEC 61340 준수 |
✔ 엔지니어링 경쟁력
● 열 Drift 최소화 구조 설계
● 고속 Motion Tuning 기술 적용
● 반도체 Cleanroom Class 1,000 대응 가능
● 고객 패키지 맞춤 설계 지원
● Inline / Standalone 설치 가능
✔ 옵션 모듈
● Dual Head Pick System
● AI 기반 Vision 검사
● Auto Loader / Unloader
● Inline Conveyor 연동
● MES Full Integration
✔ 설치 사양
● 크기: 1,550(W) × 2,500(D) × 1,800(H) mm
● 중량: 약 2,200 kg
● 설치 형태: Standalone / Inline
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