일본의 ULVAC이 SPUTTER전문업체?
이 장비의 외적 노하우는 진공에 있고 내적 노하우는 전극에 가해지는 전압에 있다?
타겟과 전극 사이에 스퍼터링하고자 하는 소재의 작은 입자를 글라스나 웨이퍼에 스퍼터링 하는데 이 양 사이에는 진공도가 높을 수록 소재의 진행속도나 굴절이 어떤 방해 없이 웨이퍼에 증착된다. 이 부분 진공에 대한 기술은 아직 논할 만큼 기술력이 부족하지만 궁금하다...
SPUTTERING의 원리는 크게 3가지가 된다고 한다.
위와 같은 PHYSICAL방식이 있고 CHAMICAL을 이용해서 소재와의 반응을 유도해서 발생되는 필요 없는 물질은 EXHAUST로 빼내는 과정을 거쳐서 SPUTTERING한다. 이 방법 두가지는 수100 옹스트롱 (10의 마이너 10승)의 두께를 박막을 입힐 수 있는데 다른 한가지는 수10옹스트롱 단위의 두께를 SPUTTERING 할 수 있다고 한다.
이 방법은 뜨거운 열을 가해서 실리콘이나 다른 소재를 성장 시키는데..이 분야는 설명하기 어렵고 아시는 분이 덧붙였으면 ..
이글은 숙제만 많이 남기는 것 같다...회원님들이 스스로 찾아 보시길 중요 합니다.^^
나도 더 공부해야지....