＊반도체장비＊ OLED 장비개발의 산실, 선익시스템

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경기도 수원에 위치한 ㈜선익시스템은 1990년 설립 이후 현재 sputter, CVD(chemical vapor deposition), etcher, evaporation 등을 생산하는 것은 물론 FPD(Flat Panel Display), telecommunication, semiconductor 등 디바이스 생산업체들에게 장비를 공급하고 있다. 선익시스템은 R&D를 포함 49대의 증착장비를 납품해 이 분야에서 세계 최고를 기록하고 있다. 지난해 매출 150억에 순이익 5억을 달성하는 한편 부채비율을 50% 이하로 낮춰 재무구조도 기술력 못지않게 탄탄하다.

선익시스템이 OLED사업에 진출하게 된 계기는 무엇이었을까. 임훈 대표이사(사진)는 “BST-MOCVD, dry etcher, 300mm capacitor용 CVD 등을 개발하면서 본격적인 장비사업에 진출했지만 반도체 장비산업의 진입장벽이 높아 사업활성화에 어려움을 겪었다”면서 “이런 와중에 기존 장비기술을 활용한 대체산업을 찾던 중 OLED산업의 발전 가능성에 눈을 뜨게 돼 지난 2001년부터 사업을 시작했다”고 말했다.

선익시스템은 양산용으로 납품한 기업이 손가락 안에 들 정도로 적었던 지난 2003~2004년에 2세대급 장비세트 3개를 납품해 당시 업계를 깜짝 놀라게 했다. 납품된 장비세트는 3년 이상 운영됐으며 이를 통해 많은 양의 back data가 수집됐다. 이렇게 모아진 자료들이 R&D 장비뿐만 아니라 대면적 장비의 개발에 밑거름이 된 것은 물론 이를 이용해 타사보다 신뢰성과 안정성이 높은 장비를 개발하는 데 큰 도움이 됐다.

개발ㆍ양산중인 OLED 증착장비에 대해 임훈 대표이사는 “4세대와 5세대 장비를 개발중인데 현재 양산에서 사용하고 있는 point source의 특성을 그대로 유지하도록 만들어 소자 제작 시 발생할 수 있는 문제점들을 최소화시키고 있다”면서 “증착효율도 지금의 point source보다 6~10배 가량 향상시킬 수 있어 개발이 완료되면 제품생산 비용을 획기적으로 줄일 수 있을 것”이라고 말했다.

[선익시스템의 OLED 증착장비]

그는 이어 “생산장비의 경우 주로 200x200mm의 장비를 표준 모델로 생산하고 있으며 국내 대부분의 연구소와 재료개발 업체에 납품중”이라면서 “특히 메이저업체에서 선익시스템의 장비를 소자와 재료 특성을 평가하는 기준장비로 사용할 만큼 신뢰성과 재현성이 우수하다”고 강조했다.

5세대 기판과 관련 선익시스템은 증착원 개발을 올해 안에 완료하고 내년 말쯤에 나머지 부분의 module 개발을 진행한다는 계획이다. 하지만 주변 인프라까지 생각한다면 전체적인 완성시기는 아직 단정 짓기 어렵다고 임 대표이사는 덧붙였다.

현재 대면적 OLED 장비 개발에는 풀어야 할 여러 가지 기술적 문제가 있다. 기술 방식에 따라 차이는 있지만 기판 처짐, 증착원, 기판 홀딩방식, 섀도마스크 등과 관련한 뚜렷한 해결책이 아직 나오고 있지 않은 상태이다. 이에 대해 임훈 대표이사는 “현재 OLED 양산 장비는 대부분 상향식 증착방식을 쓰고 있는데 4세대, 5세대로 점차 발전하면서 기판과 섀도마스크가 처진다는 문제점을 노출하고 있다”면서 “이 문제를 해결하기 위해서는 하향식 증착이나 수직 증착방식으로의 전환이 필요하다”고 해법을 제시했다.

[선익시스템 연혁]

OLED 사업을 진행함에 있어 가장 어려운 점은 무엇인지 물어봤다. “장비 업체의 관점에서 볼 때 우선 물질의 변성이 적은 증착물질의 개발이 하루빨리 이뤄졌으면 한다. 단위 module의 개발이 완료돼도 소자 특성의 평가가 어려워 기초 테스트만 하고 있는 상황도 매우 안타깝다”고 답했다.

OLED산업의 미래에 대해 임훈 대표이사는 “LCD와 비교해 볼 때 OLED가 반응속도, 시야각, 소비 전력 등의 측면에서 강점을 보이는 것은 물론 환경친화적인 디스플레이로 각광을 받고 있어 OLED의 미래는 무궁무진하다”면서 “일부에서 우려하는 가격 문제도 시간이 지나면 자연스럽게 해결될 것이다. 초기 라인 설치비용이 LCD에 비해 저렴하다는 점과 양산 물량이 증가하면 자연스레 가격이 낮아진다는 점을 고려해 볼 때 OLED가 충분한 경쟁력을 가질 수 있을 것”이라고 전망했다.

OLED 장비산업과 관련해서 정부가 정책적으로 국내 업체를 배려하는 한편 디스플레이 메이저 업체들도 국산 장비 채택비율을 높여야 한다고 말하는 임 대표이사는 국내업체가 R&D 장비뿐만 아니라 양산장비를 수주할 수 있어야 기술축적이 가능하고 수출길도 열릴 것이라고 강조했다.

- OLEDNET -