크린룸 관리

[은율아버지]

• 인원관리
  
  Clean Room의 오염원으로서 사람은 중요한 문제가 된다. 사람의 관리·운영은 심리 사항을 병행해서 고려하지 않으면 안된다.

  Clean Room 요원은 크게 전문가와 작업자의 2가지로 분류할 수 있다.
  
  
    전문가는 경영자 및 생산 공정 기술에 관련된 Engineer, Clean Room을 운영 관리하는 설비 Engineer가 여기에 속하며,
    오염에 대한 광범위한 지식 및 풍부한 경험을 갖추고 있어야 하며,
    Clean Room에서 생산되고 있는 제품이 요구하고 있는 기능을 만족할 수 있도록 생산하여야 하며,
    제품, Clean Room, 입실자(작업자)의 3가지를 관리하는 것에 대한 책임을 질 수 있어야하며, 작업자 는 생산에 관련된 인원 및 Clean Room 내의 생산 장비의 보수 및 생산 장비로 공급되는 Utility Hook-up 공사 등이 여기에 속하며, 책임자(경영자)·미생물학자·응용 심리학자 등의 권고에 의하여 다음과 같은 정신적, 육체적 특성을 고려하여 선정한다
  
  
  1) 정신적 특성

  ① 감정적으로 안정되고 충동적이 아니며 신경질적이 아닌 자
  ② 지나치게 활발하지 않고 보통인 자
  ③ 주의 깊고 참을성이 강한 자
  ④ 정리정돈을 잘 하고 자기 주변을 깨끗이 하는 자
  ⑤ 항시 건강에 유의하는 자

  2) 육체적 특징
  (다음의 각호에 해당하는 체질을 지닌 자는 작업자 선정에서 제외)
  
  ① 피부의 각질현상이 심하고 햇볕에 그을림, 습진 상처가 있는 자(심한 자)
  ② 화학섬유에 대하여 알레르기 체질을 가진 자
  ③ 청정실에서 사용하는 용재에 대하여 알레르기 체질을 가진 자
  ④ 손에 지방분이 많은 자
  ⑤ 코에 분비물이 많은 자
  ⑥ 감기에 들어서 기침이나 재채기를 하는 자
  ⑦ 보통사람 이상으로 피부에 각질이 일어나거나, 비듬, 머리카락이 많이 빠지는 자
  ⑧ 머리를 긁거나 문지르는 버릇이 있는 자
  ⑨ 화장 및 매니큐어를 칠한 자 (기초 화장 제외)
  ⑩ 심한 신경증 또는 공포증이 있는 자

  또한 Clean Room에서의 기류의 유동 및 오염 발생의 방지를 위해서는 Clean Room내에서의 인원은 다음과 같은 사항에 주의하지 않으면 안된다.

  ① Clean Room내에서의 동작은 조용하게 소정의 작업에 세심한 주의를 기울여서 행해여야 한다. ② Clean Room내에서는 발을 끌면서 걷거나 팔을 흔들거나 불필요한 동작, 이동을해서는 안된다.
  ③ 담배를 피우거나 음식물을 먹어서는 안된다.
  ④ 장갑을 낀 손과 방진복과의 사이에 피부를 노출시켜서는 안된다.
  ⑤ Clean Room에서는 방진복의 지퍼를 열어서는 안된다.
  ⑥ 모든 작업은 깨끗한 작업대에서 행한다.
  ⑦ 수동공구, 기구, 필기구류는 전용품을 사용하며 사용하지 않을 시는 캐비넷트 또는 소정의 위치에 깨끗하게 커버를 해서 보관한다.
  ⑧ 손을 자주 씻는다.
  
  
  

• Clean Room 생산장비 및 자재관리
  
  
  Clean Room내의 생산 장비 및 시설은 다종 다양하게 되어 있으며, 이것으로도 오염원이 될 가능성이 있으므로 주의를 요할 필요가 있다. 특히 생산장비로 공급되며 Wafer와 직접 접촉하는 각종의 Utility 설비 및 무진복, 무진화 보관대, 의복 Locker, 착의대, Air Shower, Pass Box 등의 Clean Room으로의 오염 물질반입을 줄일 수 있는 것과 테이블, 의자, 필기도구, 운반 대차, 조명 기기등 생산을 위해 필요 한 장치, 비품류 등도 여러 형태의 오염원이 된다. 따라서 Clean Room 전문가는 정상적인 공기 흐름 형태를 유지시키기 위하여, 사전에 각종 장치, 설비 및 비품 등을 조정하여야 하며, 수시로 난류를 일으킬 수 있는 장치, 비품류가 Clean Room에 있는가를 항상 점검하여 작업상 필요치 않는 장치, 비품 류는 최소화 할 필요가 있다.
  
  
    Clean Room내에 반입을 금하는 물품은
  
  ① 규정의 청정화 세정 과정을 거치지 않는 재료, 비품, 측정기 등의 모든 물품
  ② Clean Paper를 제외한 종이류
  ③ 필기용 연필, 지우개, 펜, 잉크, 만년필 등 (규정된 볼펜만 사용)
  ④ 다음의 표기하는 작업자의 개인 소지품
  
  - 담배, 성냥, 라이터류
  - 음식물, 껌류
  - 보석, 장식물, 화장품(금속성 반지 특히 금반지는 절대 금지함)
  - 수첩 및 기타 개인 소지품
  
  
  
    다음은 Clean Room내에서의 자재 운송 방법에 대해서는 설명한다.

  ① Clean Room으로 반입되는 모든 기재, 즉 부품기구, 설비 재료 등은 청정화 하지 않으면 안된다.
  ② 청정화 방법은 오염물의 종류, 청정화 하여야 할 물품의 형태 구조, 재료, 요구되는 청정도 등에 의해 해당 Clean Room의 전문가가 결정한다.
  ③ Clean Room에 반입되는 설비 등 대형물품은 처음부터 일반 환경의 오염 구역에서 진공 소제기로 초기 청정화를 한 뒤 청정화는 준 청정실에서 Clean Room용 진공청소기로 닦아 내거나 Air Shower를 통하여 필요한 청정화를 이룬다.
  ④ Clean Room에서 사용하는 모든 소형물품은 준 청정실에서 작업자가 전문가의 지시에 따라 Clean Room 반입 전 닦아내고 초음파 세척기 또는 Air Shower로 청정화하여 청정화 된 운반 상자에 넣어서 반입한다.
  ⑤ Clean Room내에서 다시 정밀한 청정화를 행할 필요가 있는 경우는 Clean Room에서 정밀 청정용의 설비를 한다. 이 설비에 대해서는 적절한 국소배기를 행한다.
  ⑥ Clean Room 설비에 반입하는 기재 예비품은 최소한으로 한다.
  
  
    Clean Room의 의복관리는 다음과 같이 한다.

  ① 방진복은 각 작업자에게 잘 맞는 것이어야 한다.
  ② Clean Room 전문가 (관리자 및 경영자)는 모든 청정실의 방진복에 대하여 사용해도 좋은 지의 여부(내구성, 전도성, 기능 등)를 확인하여야 한다.(검수)
  ③ 방진복이 새 것일 때는 사용 전 세탁을 한다.
  ④ 세탁이 끝난 의복은 Sample에 의하여 별도 규정한 내로 검사를 실시한다.(먼지, 오염 등 검사) 불합격 시에는 재 세탁한다.
  ⑤ 무진복은 사용하지 않을 때는 오염 물품과 접촉하거나 오염물이 부착될 수 있는 환경이어 서는 안된다.(모자, 마스크, 방진화 등)
  ⑥ 방진복 및 방진화(모자, 마스크 포함)는 정해진 기준에 따라 교환 및 세탁한다.
  ⑦ (직접)작업자에게 최소 2벌의 방진복 및 방진모를 지급한다.
  ⑧ 방진복 및 방진모의 부착물은(이름표 및 마크)먼지 및 오염을 유발하지 않는 재질로 한다.
  
  
  

• Clean Room 내 청소
  
  
    진공청소기

  ① 이동식 진공 청소기는 절대 사용을 금지한다.
  ② 소제 진공 System을 이용하여 Inlet Valve에 흡입용 Hose를 연결하여 오염 물질을 제거한다.

    세척 관련 도구

  ① 발진성이 적은 Clean Room용의 스폰지나 우레탄 폼 스폰지가 적당하다. (Clean Paper 사용 가능)
  ② 닦아내는데 사용하는 직포로서 섬유를 사용할 때는 오염물을 통과시키지 않는 폴리에칠렌 또는 나일론 포로 양면을 싸서 봉합하고 평평히 하기 위해 누벼야 한다.
  ③ 청정수 기타 청정용의 액체를 위한 물통은 스텐레스제 또는 고급 플라스틱으로서 용량 10ℓ 정도의 것이 적당하다.
  ④ 높은 것을 닦아내기 위한 것이 필요하면 알미늄제 Clean Room 전용의 사다리를 사용한다.

    청소용 액체(물)

  ① 보통의 수돗물에는 고체형 미립자, 유기물, 광물질 등을 함유하고 있기 때문에 Clean Room 청소용으로 사용할 수 없다.
  ② 청정용으로는 Filter로 여과한 물이나 D.I Water를 사용한다.
  
  
  

• 청정도 관리 기본
  
  
  청정도 관리의 기본은

  ① 외부로부터의 발진원의 침입 금지
  ② Room내에서의 발진원의 방지
  ③ 발생된 발진원의 신속한 처리

  이며, ①은 사람, 비품의 입실 조건 및 관리의 문제, ②는 실제 작업조건 및 공정 관리와 관련된 문제, ③은 실내에서의 청소 등과 관련된 문제이다.

표 1.1은 이러한 것에 대한 대책의 기본적 고려 사항이다.


표 1.1 Clean Room의 청정도 관리

관 리 기 본	관 리 요 소
외부로부터의 발진원의 침입방지	급기 계통의 Filter의 설치 및 이의 적절한 관리   실내의 양압 유지   Duct, Filter 주변 부위 등으로부터의 Leak 방지   설비 기기, 약제, 재료반입시의 청결, 세정
실내에서 발진원의 방지	배기구, Gas등의 적절한 설치   무진복 관리, 처리 Line의 자동화   발진이 적은 내장재 사용
발생된 발진원의 신속한 제거	환기 횟수의 증가   적절한 Layout   정기적인 청소

[세공주 아빠]

잘 읽고 갑니다.

[공돌리]

감사합니다.

[대사님]

좋은정보 잘봤습니다
감사합니다

[NTKM]

좋은 정보 감사합니다.

[my way]

감사합니다

[박똘콩]

혹시 크린룸 기준이 어떤 업종에 대한 크린품 관라 가준인가요,,,?

이대로 관리 지침을 내려보려했더니 너무 까다롭다고 줄여라고 해서요.....

[Lazy Han]

역시 어렵군요.감사합니다.

[kj마스크]

좋은 정보 감사드립니다