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근접장 정보저장 시스템 광헤드의 오차 분석 및 공차 할당(근접장 情報貯藏 시스템 광헤드의 誤差 分析 및 공차 割當 =Error Analysis and Tolernace Allocation in the Optical Head of Near FieldRecording System) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(이준희 ...)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년 11월에 발행한 <대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집> 2539~2545쪽(7쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : Abstract/ 1. 서론/ 2. 근정장 정보저장 설계 및 제작/ 3. 광학 시스템의 공차할당/ 4. NFR 시스템의 광학헤드 공차 할당/ 5. 결론/ 후기/ 참고문헌/
[본문 요약] : Error analysis and tolerance allocation method for the optical head of Near-Filed Recording (NFR) system are presented. After design and fabrication of NFR system, the performance test for the NFR system is done. Using the optical simulation program, CODEV, the assembly and manufacturing tolerances of the NFR optical head are simulated. The tolerances analysis result shows that the tolerance is very tight. So we propose optimal compound tolerance allocation method using WOW (worst on worst) analysis, RSS (root sum square) analysis and Monte-Carlo analysis.(daum 2009)//
초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어(超精密 Decoupled 二重 스테이지의 設計 및 制御 =Design and Control of High Precision Decoupled Dual-stage) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(최영만 ...)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년 11월에 발행한 <대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집> 1760~1763쪽(4쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : Abstract/ 1. 서론/ 2. Decoupled 이중 스테이지 시스템/ 3. 이중 스테이지 제어/ 4. 결론/ 후기/ 참고문헌/ [본문 요약] : This paper presents 3-axis high-precision dual-stage compatible with 300㎜ wafer. The proposed dualstage system consists of a fine stage for XYθ motion and a coarse stage for large travel. The fine stage uses four voice coil motors and air bearings which make mechanically decoupled plane motion on granite base. The coarse stage carry coil blocks which make Lorentz force against the fine stage with the range of 500㎜×500㎜ using three linear motors. To get precise position of the fine stage, laser interferometers and plane mirrors are adopted. The proposed dual-stage has good performance in both step and scan motion control. Experimental results show the positioning error is ...(daum 2009)//
파장 코딩된 실시간 슬릿 공초점 현미경의 설계(파장 코딩된 實時間 슬릿 공초점 顯微鏡의 設計 =Design of spectrally encoded real-time slit confocal microscopy) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김정민 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2005년 10월에 발행한 <한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집> 586~590쪽(5쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. 광학 시스템의 제안 및 구성/ 3. 공초점 광학계의 파동 광학적인 분석/ 4. 광학 시스템 설계/ 5. 결론/ 후기/ 참고문헌/ [본문 요약] : New real-time confocal microscopy using spectral encoding technique and slit confocal aperture is proposed and designed. Spectral encoding technique, which encodes one-dimensional spatial information of a specimen in wavelength, and slit aperture make it possible to obtain two-dimensional lateral image of the specimen simultaneously at standard video rates without expensive scanning units such as polygon mirrors and galvano mirrors. The working principle and the configuration of the system are explained. The variation in axial responses for the simplified model of the system with normalized slit width is numerically analyzed based on the wave optics theory. Slit width that direc...(daum 2009)//
영구 자석과 전자석의 상호작용을 이용한 초정밀 양방향 구동기 설계(永久 磁石과 電磁石의 相互作用을 利用한 超精密 兩方向 驅動機 設計 =Design of ultraprecision bi-directional actuator for nm using a permanent magnet and electromagnet) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김기현 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2005년 9월에 발행한 <한국정밀공학회지> 제22권 제9호 147~154쪽(8쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. 초정밀 양방향 구동기의 개념 설계/ 3. 초정밀 양방향 구동기 설계/ 4. 초정밀 양방향 구동기 제작 및 성능 평가/ 5. 결론/ 후기/ 참고문헌/ [본문 요약] : A precision bi-directional actuator for a high precision leveling system with Zθ vθ y motions is proposed and designed in this paper. The actuator is composed of a force generation structure, a guide mechanism, and a symmetric structure. At first, its driving force is generated by a change of flux in air gaps by permanent and changeable flux. The permanent flux is generated by a permanent magnet. The changeable flux is created by variable current flowing through coil. The combination of permanent and changeable flux makes various flux densities in air gaps between moving part and fixed yokes. And then, the difference between flux d...(daum 2009)//
금속 나노 입자와 공초점 레이저 현미경을 이용한 조기 암 진단 기술(金屬 나노 粒子와 공초점 레이저 顯微鏡을 利用한 早期 癌 診斷 技術) [학술저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(이상엽, 김성용, 최정현 ...)의 논문으로, 한국광학회에서 2005년 7월에 발행한 <한국광학회 2005년도 하계학술발표회 논문집> 174~175쪽(2쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : 1. 서론/ 2. 실험/ 3. 결과 및 고찰/ 4. 참고 문헌(daum 2009)//
나노 정밀도 스캐닝 용 공기베어링과 보이스 코일 모터의 초정밀 이중 스테이지 설계 및 제어(나노 精密度 스캐닝 用 空氣베어링과 보이스 코일 모터의 超精密 二重 스테이지 設計 및 制御) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김기현, 최영만, 김정재 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2005년 6월에 발행한 <한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문요약집> 447~447쪽(1쪽 分量)에 수록되어 있다.(daum 2009)//
VCM을 이용한 나노 정밀도 스캐닝 용 초정밀 이중 스테이지(VCM을 利用한 나노 精密度 스캐닝 用 超精密 二重 스테이지 =Ultra high precision Dual stage system Using Air bearing and VCM for Nano level Scanning) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김기현 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2005년 5월에 발행한 <한국정밀공학회지> 제22권 제5호 103~112쪽(10쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. 이중 스테이지의 개념 설계/ 3. 트랙커를 위한 보이스 코일 모터 설계/ 4. 이중 스테이지 제작 및 실험/ 5. 결론/ 후기/ 참고문헌/
[본문 요약] : This paper presents one-axis high precision scanning system and illustrates the design of modified X-Y-θ stage as a tracker using VCM and commercialized air bearings for it. The scanning system for 100㎚ resolution is composed of the 3-axis stage and one axis long stroke linear motor stage as a follower. In this study a previous proposed and presented structure of VCM for the fine stage is modified. The tracker has 3 DOF(X-Y-θ) motions by four VCM actuators which are located on the same plane. So 4 actuating forces are suggested and designed to create least pitch and roll motions. This article will show about the design especially about optimal design. The design focus of this...(daum 2009)//
근접장 광기록 헤드의 광학적 성능 평가와 정렬 오차에 대한 간섭 무늬 패턴 분석에 대한 연구(근접장 광기록 헤드의 光學的 性能 評價와 整列 誤差에 對한 간섭 무늬 패턴 分析에 對한 硏究 =A Study on the Evaluation of the Optical Head of a Near-field Optical Recording System and Interference Pattern Analysis) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(윤형길 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2005년 5월에 발행한 <한국정밀공학회지> 제22권 제5호 80~86쪽(7쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. FU의 광학 성능 평가/ 3. FU의 오차 및 민감도 분석/ 4. 조립 오차의 간섭무늬 분석/ 5. 결론/ 참고문헌/ [본문 요약] : Optical performance evaluation results and an interference fringe pattern analysis of alignment errors for an optical head of a near-field recoding (NFR) system are presented. The focusing unit is an optical head of a NFR system and is composed of a solid immersion lens (SIL) and an objective lens (OL). Generally, the size of the focusing unit is smaller than that of the conventional optical recording head. Hence there are difficulties to assemble the small focusing unit precisely. We composed an evaluation system with an interferometer and evaluated some focusing unit samples aligned and assembled by manual and present the obtained results. Using the conventional optical tool, ...(daum 2009)//
차세대 고분해능 현미경 기술 현황([테마企劃1/次世代 分析評價裝備] 次世代 高分解能 顯微鏡 技術 現況) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(송인천)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년 3월에 발행한 <기계저널> 제45권 제3호 34~39쪽(6쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : 공초점현미경/ 전자빔현미경/ 원자현미경/ X선현미경/ 타원편광분석기/ 맺음말 / [본문 요약] : 최근 나노기술의 발전 및 신기술 개발로 여러 가지 새로운 분석 대상물이 나타나게 되었고, 이러한 대상물은 기존의 분석장비로는 분석이 불가능한 영역까지 분포해 있다. 따라서 이에 관련된 분석장비 기술에 대한 관심이 커지고 있다. 예를 들어, 기존의 반도체나 정밀기계뿐만 아니라 DNA나 단백질 같은 생화학 분야의 다양한 유기/무기물 또한 분석 대상에 포함되고, 대상물의 분석한계 또한 매우 높아지고 있다. 특히 나노기술 분야에서는 대상물의 분석가능 여부에 따라 연구의 성패가 좌우될 정도로 분석장비에 대한 의존도가 매우 높은데, 이에 따라서 분석장비의 성능을 획기적으로 항상시켜 관련기술을 보유하려는 연구가 세계적으로 활발히 진행 중이다. 전세계적으로 분석장비 시장은 연간 약 500억 달러(2002년)에 달하며, 국내시장의 분...(daum 2009)//
차세대 생화학 분석 기술([테마企劃4/次世代 分析評價裝備] 次世代 生化學 分析 技術 : 공초점주사顯微鏡) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(유홍기)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년 3월에 발행한 <기계저널> 제45권 제3호 49~51쪽(3쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : 생화학 분석 기술로서의 공초점주사현미경/ 공초점주사현미경의 원리 및 특성/ 공초점주사현미경의 응용 분야/ 공초점주사현미경의 최근 연구 동향/ 공초점주사현미경의 현재와 미래(daum 2009)//
초정밀 선형 모터 시스템의 적응형 힘리플 보상과 정밀 트랙킹 제어(超精密 扇形 모터 시스템의 適應形 힘리플 보상과 精密 트랙킹 制御) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(최영만, 이문구)의 논문으로, Korean Society of Precision ..에서 2005년에 발행한 책 51-60쪽(10쪽 分量)에 수록되어 있다. [본문 요약] : This paper describes a robust control scheme for high-speed and long stroke scanning motion of high precision linear motor system consisting of linear motor, air bearing guide and position measurement system using heterodyne interferometer. Nowadays, semiconductor process and inspection of wafer or LCD need high speed and long travel length for their high throughput and extremely small velocity fluctuations or tracking errors. In order to satisfy these conditions, linear motor system are widely used because they have large thrust force and do not need motion conversion mechanisms such as ball screw, rack & pinion or capstan with which the system are burdened. However linear motors have a pr...(daum 2009)//
주사 현미경용 평면 스캐너 Part 2(주사 顯微鏡用 平面 스캐너 Part 2 : 정$cdot$동 特性 評價) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(이무연, 이동연)의 논문으로, 한국소음진동공학회에서 2005년에 발행한 책 1295-1302쪽(8쪽 分量)에 수록되어 있다. [본문 요약] : This paper shows experimental evaluation results of the nano-positioning planar scanner used in the scanning probe microscope. The planar scanner is composed of flexure guides, piezoelectric actuators and feedback sensors as like explained in detail in Ref. (5). First, the fabrication methods were explained. Second, as the static Properties of the Planar scanner. we evaluated the maximum travel range & crosstalk. Also, we presented the correcting method for crosstalk using electric circuits finally. as the dynamic properties of the planar scanner, we evaluated the first resonant frequency. Also, we presented the actual AFM(atomic force microscope) imaging results with up to 2Hz imaging scan...(daum 2009)//
차세대 고분해능 현미경 기술 현황(次世代 高分解能 顯微鏡 技術 現況) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(송인천)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년에 발행한 책 34-39쪽(6쪽 分量)에 수록되어 있다.(daum 2009)//
차세대 생화학 분석 기술(次世代 生化學 分析 技術 : 공초점주사顯微鏡) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(유흥기)의 논문으로, 대한기계학회에서 2005년에 발행한 책 49-51쪽(3쪽 分量)에 수록되어 있다.(daum 2009)//
Monte Carlo 방법을 이용한 공초점 주사 현미경의 오차 분석과 정렬 공차 활당에 관한 연구(Monte Carlo 方法을 利用한 공초점 주사 顯微鏡의 誤差 分析과 整列 공차 활당에 關한 硏究 =Error Analysis and Alignment Tolerancing for Confocal Scanning Microscope using Monte Carlo Method) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(유홍기 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2004년 2월에 발행한 <한국정밀공학회지> 제21권 제2호 92~99쪽(8쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. 최적 공차 할당 방법/ 3. 공초점 주사 현미경/ 4. 공초점 주사 현미경의 오차 분석/ 5. 공차 할당/ 6. 결론/ 참고문헌/ [본문 요약] : The errors can cause the serious loss of the performance of a precision machine system. In this paper, we proposed the method of allocating the alignment tolerances of the parts and applied this method to get the optimal tolerances of a Confocal Scanning Microscope. In general, tight tolerances are required to maintain the performance of a system, but a high cost of manufacturing and assembling is required to preserve the tight tolerances. The purpose of allocating the optimal tolerances is minimizing the cost while keeping the high performance of the system. In the optimal problem, we maximized the tolerances while maintaining the performance requirements. The Monte Carlo Metho...(daum 2009)//
초정밀 가공기를 위한 다극자석 선형 모터와 초정밀 스테이지 설계(超精密 가공기를 爲한 多極磁石 扇形 모터와 超精密 스테이지 設計 =Design of a high precision stage and a multi-segmented magnet array linear motor for high precision machine) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김기현 ...)의 논문으로, 한국공작기계학회에서 2003년 4월에 발행한 <韓國工作機械學會 2003 春季學術大會 論文集> 56~61쪽(6쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : Abstract/ 1. 서론/ 2. 제안하는 초정밀 스테이지의 특징/ 3. 6축 단행정 구동부의 설계/ 5. 제안된 초정밀 스테이지의 제작 및 조립/ 4. 결론/ 후기/ 참고문헌(daum 2009)//
마이크로-나노 모니터링 기술의 현황(마이크로-나노 모니터링 技術의 現況) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(강동균)의 논문으로, 제어자동화시스템공학회에서 2003년에 발행한 책 36-39쪽(4쪽 분량)에 수록되어 있다.(daum 2009)//
리소그라피 장비에서 xyθ 미세구동기의 최적 설계 및 제어(리소그라피 裝備에서 xyθ 微細驅動機의 最適 設計 및 制御 =Optimal Design and Control of xyθ Fine Stage in Lithography System) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(김동민 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2002년 12월에 발행한 <한국정밀공학회지> 제19권 제12호 163~170쪽(8쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. xyθ미세 구동기의 개념설계/ 3. xyθ 미세 구동기의 모델링/ 4. xyθ 미세 구동기의 최적 설계/ 5. 제어/ 6. 결론/ 참고문헌(daum 2009)// 형광 공초점 주사 현미경의 측정 강도 향상을 위한 반사 광학계의 제안 및 설계(螢光 공초점 주사 顯微鏡의 測定 强度 向上을 爲한 反射 光學계의 提案 및 設計 =Proposal and design of reflecting optical system to improve detection intensity in fluorescence confocal scanning microscopy) [學術저널] : 감천면 출신 권대갑(權大甲, 1952- , 大昌高 卒業, 韓國科學技術院 敎授) 등(강동균 ...)의 논문으로, 한국정밀공학회에서 2002년 5월에 발행한 <한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집> 187~190쪽(4쪽 分量)에 수록되어 있다. [목차] : ABSTRACT/ 1. 서론/ 2. 반사 광학계의 제안/ 3. 제안된 광학계의 설계/ 4. 반사 광학계의 성능 분석/ 5. 결론/ 참고문헌(daum 2009)
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