4월의 어느 맑은 날, 경기도 평택에 위치한 IPS를 방문하게 되었다.
평택 터미널에 내려서 찾아간 IPS에서 제일먼저 우리를 반겨 준것은 강하게 부는 바람이었다.
바람을 헤치고 정문으로 들어서자 8천 평이 넘는 넓은 대지와 IPS의 낮은 건물이 눈에 띄었다.
건물 내부로 들어서자 바람이 강하게 불었던 외부와는 달리 아늑한 분위기가 느껴졌다.
Q> 회사 연혁 및 경영개요에 대해 말씀해 주세요.
A> 1996년 3월 청송시스템을 시작으로 1996년 7월 국내 S사와 Etcher 장비 개발 기술에 대한 합의각서를 교환(Poly Dry Etcher)하고, ALD 방식의 Oxide 공정 장비 공동개발 계약을 체결했다. 1998년 9월 ISO 9001 인증을 획득했으며, 1999년 4월 벤처기업으로 지정되었다. 2000년 4월 독일 TUV사로부터 Nano Etcher-CE 마크를 획득했으며, 2001년 4월에는 Nano-ALD-CE 마크를 획득했다. 국내 반도체 업계에서 미진한 Fab 장비 개발을 통해 반도체 산업 발전에 기여하고자 설립된 (주)아이피에스는 반도체 장비 전문 생산업체로 국내에선 유일하게 식각 공정에 사용되는 드라이 에처(Dry Etcher) 장비를 양산하는 등 반도체 제조와 관련된 장비 생산 및 판매에 주력하고 있다. 코스닥 등록업체인 (주)원익의 계열사로서 2004년 4월말 현재 종업원 113명(R&D 55명 포함), 자본금 57억 원이며, 본사 및 공장은 경기도 평택시 지제동에 위치해 있다.
기존에 수입에만 의존하던 반도체 전 공정 장비인 Dry Etcher System의 국산화에 성공하여, 유수의 반도체 제조 회사 양산라인에 납품함으로써 명실공히 국내최초로 Etcher 장비 국산화의 선두자리를 굳히었으며, 또한 반도체 전 공정 장비 중 핵심 공정인 CVD장비의 차세대 장비로 그 두각을 나타낼 ALD(Atomic Layer Deposition) 장비를 세계 최초로 개발 성공함으로써 국내뿐만이 아닌 해외 유수 반도체 소자업체의 양산라인에 공급하여 그 기술력을 인증 받았다. 특히 ALD 장비의 경우 우수한 기술력을 바탕으로 2002년 ASML社 와 해외판매권 및 공동개발 계약 체결하여 국내는 물론 해외 시장 개척의 교두보를 마련하여 그 동안 수입에만 의존하던 반도체 장비를 해외에 수출하게 되었으며, 현재 300mm ALD장비 수대를 수출 완료하였다.
Q> 회사의 생산품 및 취급품목에는 어떠한 것들이 있습니까?
A> 주요 사업 분야는 반도체 제조 관련 장비의 생산 및 판매이며 ALD와 Etcher가 IPS의 주력 제품이다.
현재 ALD 장비는 세계 유수의 반도체 장비 회사들이 개발 중에 있지만, 양산용으로 개발되어 수출에 나서는 것은 IPS가 최초이다.
막을 만드는 기법 중 하나인 ALD(Atomic Layer Deposition) 공정은 1970년대 초 “Suntola”등에 의해 개발되었으며, 최근 소자의 고집적화에 따라 높은 단차 발생 부위에 대한 기존의 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로는 한계가 나타남에 따라 ALD 방법을 도입하게 되었다. ALD 공정은 원자층 단위 공정을 진행함으로써 기존 CVD의 한계인 Confomality를 거의 100%까지 구현할 수 있고 원자층 단위로 진행되기 때문에 저온에서도 막질 순도를 극대화 할 수 있는 장점이 있다. 이러한 장점에 의해 ALD 방법에 의한 공정은 향후 기존 CVD 공정 영역을 급속히 대체할 전망이다.
아이피에스의 주력 제품인‘NANO ALD’ 장비는 지난‘97년부터 개발한 원자층 증착원리(ALD)를 이용한 장비로, 기존 CVD 장비가 웨이퍼 위의 반응 기체를 동시에 공급, 증착 반응 특성상 막질 및 스텝 커버리지(step coverage) 등의 문제로 기가급 소자 생산에 한계가 있는 것과는 달리, 반응 기체를 웨이퍼 위에 순차적으로 분사하여 얇은 박막을 증착하는 장비로서, 원자층 단위로 박막을 증착 시킴으로써 단차 도포성이 우수하고 불순물이 적으며 순도가 높고 조성비가 우수한 박막을 구현할 수 있는 장점을 갖고 있다.
이로써 ALD시스템은 기가급 메모리는 물론 초고속 데이터 처리를 요구하는 중앙처리장치(CPU)와 디지털신호처리기(DSP) 및 시스템 집적회로(IC) 등 각종 비메모리 차세대 반도체 제조에도 사용될 예정이다.
특히 반도체 칩 사이즈의 축소화에 따라 스텝 커버리지가 우수하고, 정밀 두께 조절이 가능한 ALD시스템의 수요가 급속히 증가하고 있는 추세로 향후 2005년에는 현 CVD 공정의 20% 이상을 차지할 것으로 예상되고 있다.
또한 NANO-ALD는 세계 최초로 양산 라인에서 200mm 및 300mm 공정에 대해 양산 신뢰성이 검증된 세계 유일한 설비이다. 최근 도입되는 AL2O3막 및 HFO2막에 대해 공정 신뢰성 검증이 완료된 최초의 설비이며 매엽식 방식을 채택하고 있어서 한 설비 내에서 두 공정 연속 진행이 가능한 설비이다. Dry Cleaning 방식을 이용한 chamber in-situ cleaning 공정 적용도 가능한 장비이다.
시스템 판매현황은 ALD System의 경우 국내에 300mm와 200mm가 23System, 해외에 300mm가 12System 판매되었으며, Etcher System의 경우 국내에 200mm가 18System 판매되었다.
특허 등록 현황을 살펴보면 박막 형성용 장치, 박막 증착 장치 등을 포함한 특허 등록은 26건(국내 11, 해외 15)이며, 출원은 97건(국내 47, 해외 50)이다.
Q> 시스템 IC 2010 사업의 선정 배경과 앞으로의 계획에 대해 알고 싶습니다.
A> 작년 9월 과학기술부와 산업자원부 및 한국반도체 협회 주관으로 DRAM등 메모리 위주의 반도체 산업 구조를 개선하고 비메모리 중심으로 전환하고자 의욕적으로 진행되고 있는 “시스템 IC 2010 사업” 개발 과제 중 SoC 공정분야의14개 과제 중 하나인 차세대 공정용 ALD장비개발 분야에 응모하여 선정되었다.
이번 개발사업의 총 개발 기간은 2년으로 1차 년도 2004년 8월까지이며 2차 년도는 2005년 8월까지이다. 이번 ALD장비 개발에는 국내의 ALD장비업체 중 4개 사가 신청하여 과제 중 가장 치열한 경합을 벌여 되었다.
이 번 선정을 계기로 향후 ALD장비에 대한 고객에 대한 인지도를 높일 수 있을 것으로 보이며 아울러 ALD장비에 대한 고객 신뢰성을 높일 수 있도록 개발에 전념하여 세계적인 장비 회사로 거듭나도록 노력할 것입니다.
Q> IPS 의 회사규모와 경영전략이 있다면 무엇입니까?
A>1997년 12월 처음 입주한 8천 평 규모의 본사에는 총 220평 규모의 Clean Room(Class 10& 100)과 64평 규모의 기업부설 연구소를 보유하고 있다.
탄탄한 인력 조직을 바탕으로 실력으로 승부하는 기업, 투명한 기업 경영을 목표로 IPS 전 직원이 힘쓰고 있으며, 작지만 강한 기업이 되겠다는 슬로건 아래 내실을 강화하기 위해 노력하고 있다.
Q> 올해의 투자 계획, 매출목표에 대해 말씀해 주세요.
A>올해 투자 계획은 반도체·LCD를 포함하여 100억 원 정도를 예상하고 있습니다.
2003년 매출액은 385억 원이었으며, 2004년 목표액은 전년 대비 42.8% 성장한 550억 원(반도체 장비 500억 원, 비 반도체 장비 50억 원)이다. 2005년에는 1,000억 원 (반도체 장비 800억 원, 비 반도체 장비 200억 원), 2010년에는 3,000억 원(반도체 장비 2300억 원, 비 반도체 장비 700억 원)으로 성장할 것이라 예상한다.
현재 전 세계 ALD 시장의 10% 이상을 차지하고 있으며, 2004년에는 전 세계 ALD 시장의 20% 이상을 확보하기 위해 노력하고 있다.
Q> 2004년 이후의 계획은 어떻습니까?
A>IPS 장호승 대표이사님의 말씀에 따르면 “올해부터 반도체 시장 중 설비가 나아질 것이며 이는 세계적인 추세이기도 하다. 이에 IPS는 앞으로 해외 판매와 기술개발에 주력할 것이다.”라고 말했다.
향후 기존의 ALD를 더욱 강화할 예정이며, 앞으로 전망이 밝은 LCD 시장 진출을 위해 작년 중반부터 검토되고 있는 LCD TFT와 LCD ETCH 사업에 역점을 둘 계획이다. 마침 우리가 찾아간 때에 공장에서 LCD 공정에 필요한 장비가 조립 중이었다.
특허 부분에 있어서는 마케팅에 중요한 만큼 올해부터 그동안 미비했던 특허 확보에 주력할 계획이라고 한다.
※ 취재후기
직원들과 체육대회를 즐기실 정도로 젊고 활기찬 장호승 대표이사님의 모습에서 IPS의 밝은 미래를 엿볼 수 있었고, 클린 룸 설계를 고려해 건물 천장이 높았던 만큼이나 앞으로 세계 속으로 뻗어나갈 IPS를 기대해 본다.
아울러 취재에 협조해 주신 IPS 관계자 여러분께 감사의 말씀드립니다.