동진쎄미켐, 'EUV 네거티브 PR' 양산 착수...삼성전자에 공급

[불스탁®]

동진쎄미켐, 'EUV 네거티브 PR' 양산 착수...삼성전자에 공급

국내 포토레지스트(PR) 제조기업 동진쎄미켐이 '극자외선(EUV) 네거티브 PR' 개발에 성공했다. 현재 고객사 제품 공급을 위해 양산에 돌입했다. 지난해 12월 'EUV 포지티브 PR'을 삼성전자에 공급한 데 이어 두 번째 EUV PR 공급이다.

동진쎄미켐의 신제품은 삼성전자 일부 공정에 적용되기 시작한 것으로 알려졌다. 구체적으로 삼성전자의 D램 D1a 공정에 사용된다. D1a는 DDR5와 LPDDR5를 생산하는 14nm급 선단 공정이다. 양산이 시작된 만큼 빠른 시일 내에 확대 공급될 것으로 예상된다. 이 공정에 들어가는 PR은 그동안 일본 스미토모화학이 공급했다. 

소재업계 관계자는 "기존 D1a 공정에는 스미토모화학이 EUV PR을 공급하고 있었다"며 "최근 동진쎄미켐이 보다 나은 물성의 EUV PR을 개발해 삼성전자 공급을 시작하게 됐다"고 말했다. 이 관계자는 "일본 국부펀드의 JSR 인수 추진로 EUV PR 시장 구도가 변화하는 가운데 동진쎄미켐의 이번 양산은 매우 의미가 깊다"고 덧붙였다.

관계자는 "이번 제품 외에도 동진쎄미켐은 선단 공정용 EUV PR 추가 공급을 준비하고 있는 것으로 알고 있다"며 "포지티브 PR과 네거티브 PR을 기술력을 모두 갖췄기 때문에 EUV PR 업계에서 확실하게 자리 잡은 것으로 보인다"고 평가했다.

 https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=21931

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