노광장비(Lithography System)는 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 반도체 회로를 빛으로 그리는, 반도체 8대 공정 중 가장 핵심적이고 비싼 장비입니다. 쉽게 말해, 웨이퍼라는 도화지에 설계도대로 밑그림을 그리는 '붓' 역할을 하는 장치입니다.
조선일보
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주요 특징과 내용은 다음과 같습니다.
핵심 기능 (포토 리소그래피): 빛에 반응하는 물질(감광액)이 발라진 웨이퍼에 마스크(회로 패턴이 그려진 유리판)를 두고 빛을 쏘아, 빛을 받은 부분만 남겨 회로를 형상화합니다.
초미세 공정의 필수품: 특히 극자외선(EUV) 노광장비는 13.5나노미터(nm) 파장의 빛을 사용하여 머리카락 굵기의 약 1만 분의 1 수준인 초미세 회로를 구현할 수 있습니다.
높은 가격과 기술 장벽: 최신 EUV 노광장비는 한 대당 가격이 3억 5,000만 유로~3억 8,000만 달러(약 5,000억~6,000억 원 이상)에 달하며, 네덜란드의 ASML이 시장을 사실상 독점하고 있는 '슈퍼 을' 장비입니다.
생산 효율성: 노광 공정은 전체 반도체 생산 시간의 약 60%, 비용의 약 35%를 차지할 정도로 매우 중요합니다.
조선일보
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주요 제조업체로는 ASML 외에도 일본의 캐논(Canon), 니콘(Nikon)이 있습니다.
KBS 뉴스
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'반도체 핵심' 독점 깨진다… 中이 시제품 만든 장비 - 조선일보
2025. 12. 25. — EUV 노광 장비는 실리콘 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 핵심 장비다. 이 장비는 회로를 그리는 '붓' 역할로 13.5나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) ...
조선일보
극자외선 노광장비 - 한경용어사전
극자외선을 이용하여 반도체를 생산하는 장비. 이 장비는 빛 파장이 13.5나노미터인현재 반도체 양산 라인에 주로 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193나노미...
한경용어사전
[초점] ASML, 2나노 장비 독점…삼성·TSMC 경쟁 속 '유일 승자' | 뉴스
2025. 9. 9. — ASML의 최신 노광장비 'TWINSCAN EXE:5000'은 현존하는 가장 정교하고 비싼 반도체 생산 설비다. 가격은 한 대당 3억 5000만 유로(약 5700...
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ASML - 나무위키
2026. 4. 22. — 네덜란드의 반도체 공정 장비 제조 기업. 포토 리소그래피라 불리는 노광 장비[7]를 생산해 세계 각국의 반도체 제조사들에게 판매하며, 세계 최대의 반도체 공정 장...
나무위키
일본 캐논, 21년 만에 새 반도체 장비 공장 기공식 - KBS 뉴스
2025. 7. 31. — 노광장비는 설계한 전자 회로를 웨이퍼(원형 반도체 기판)에 빛으로 그리는 반도체 공정에 사용되는 핵심 장치입니다. 캐논이 반도체 노광장비 신공장을 여는 것은 20...
KBS 뉴스
[포럼] ASML은 어떻게 `슈퍼을`이 되었나 - 디지털타임스
2022. 7. 5. — 노광은 반도체 8대 공정 중 하나로 실리콘 웨이퍼 위에 반도체 회로를 빛으로 새기는 작업이다. 반도체 공정 시간 중 약 60%, 비용의 약 35%를 차지하는 ..
www.dt.co.kr
반도체 이야기 5 - 반도체의 8대 공정 3 > 블로그
2025. 2. 17. — 노광장비에는 광원(Light Source), 마스크(Reticle), 렌즈(Projection Lens), 스테퍼(Stepper), 스캐너(Scanner)가 있다...
코랩샵 KOLAB
0:47
네덜란드, ASML 대중국 일부 품목 수출 규제
YouTube·OBS뉴스
ASML - 위키백과 - Wikipedia
번역됨 — 제품 ASML은 집적 회로 생산에 사용되는 포토리소그래피 장비인 "스캐너"를 생산합니다. 이 장비에서는 감광성 물질( 포토레지스트 ) 필름으로 덮인 실리콘 웨이퍼...
Wikipedia
축소투영 노광장치와 그 기술의 진전
○ 반도체의 미세화와 함께 스캐너 반도체 노광장치가 반도체 제조의 주 를 이루게 되었는데 이것을 제조하고 있는 Nikon, Canon, ASML의 3 개사가 전 ...
ReSeat 고경력과학기술인
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실리콘 웨이퍼 핸들링용 도구 - 진공/ 웨이퍼 트위져, 진공 펌프
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