In-Line Sputter

<TABLE cellSpacing=0 cellPadding=0 width="100%" border=0> <TBODY> <TR> <TD style="PADDING-LEFT: 9px; FONT-SIZE: 12px; PADDING-BOTTOM: 25px; PADDING-TOP: 24px"><FONT color=#6b6b6b>물리적 박막 증착 장치 [ Sputtering system ]<BR><BR>본 장치는 반도체 및 전자부품 소자용 박막 증착 공정 장비의 하나로 Cryogenics 모듈이 장착된<BR>초고진공(UHV) 시스템으로 구성되어, 고품질의 진공조건에서 User가 요구하는 다양한 두께의<BR>박막을 단일 혹은 다층박막형태로의 공정이 가능한 다목적 물리적 박막 증착 장비이다.</FONT></TD></TR> <TR> <TD> <TABLE id=table10 cellSpacing=0 cellPadding=0 width=565 border=0> <TBODY> <TR> <TD width=1 background=img/ceo/ceo_38v.gif rowSpan=3></TD> <TD background=img/ceo/ceo_38.gif height=1></TD> <TD width=1 background=img/ceo/ceo_38v.gif rowSpan=3></TD></TR> <TR> <TD style="PADDING-RIGHT: 3px; PADDING-LEFT: 3px; PADDING-TOP: 2px"> <IMG height=18 alt="" src="https://img1.daumcdn.net/relay/cafe/original/?fname=http%3A%2F%2Fwww.everwheel.co.kr%2Fimg%2Fpvd%2Fpvd_48.gif" width=172 border=0> </TD></TR> <TR> <TD background=img/ceo/ceo_38.gif height=1></TD></TR></TBODY></TABLE></TD></TR> <TR> <TD style="PADDING-TOP: 10px"> <TABLE id=table10 height=422 cellSpacing=0 cellPadding=0 width=565 border=0> <TBODY> <TR> <TD style="PADDING-BOTTOM: 6px"> <IMG height=403 src="https://img1.daumcdn.net/relay/cafe/original/?fname=http%3A%2F%2Fwww.everwheel.co.kr%2Fimg%2Fpvd%2Fpvd_53.gif" width=231 border=0></TD> <TD style="PADDING-LEFT: 13px; FONT-SIZE: 12px; PADDING-BOTTOM: 0px; PADDING-TOP: 0px"> <P> <IMG height=8 src="https://img1.daumcdn.net/relay/cafe/original/?fname=http%3A%2F%2Fwww.everwheel.co.kr%2Fimg%2Fkf1%2Fkf1_68.gif" width=8 border=0><FONT color=#6b6b6b> 장비 사양<BR><BR>- 기판크기 : 여러 형태의 시편 장착 가능<BR>                  (다양한 Jig사용 가능)<BR><BR>- 코팅물질 : 다양한 물질 증착 가능<BR>                  (금속,자성체 및 절연체 등)<BR>  * Low damage sputter가능 (특히 ITO for LD/LED)<BR><BR>- 두께 불 균일도 : ≤±5.0%<BR><BR>- 선택사양 : User의 다양한 요구조건에 따라 변동사항이<BR>                  많음<BR>   a. Load-lock module.<BR>   b. RF cleaning module for Pre-treatment<BR>   c. DC and RF 동시 인가 가능(Low damage sputter용)<BR>   d. Heater for a process or bake-out<BR>   e. RGA(Residual Gas Analyzer) module<BR><BR>- 적용분야 : 반도체 및 FPD( 전극 및 유전체 물질 등)<BR>  전자부품(MEMS,LD/LED,Ceramic,Hybrid device 등)<BR>  산업용( 외장 및 내마모성 장식 코팅 등)</FONT></P></TD></TR></TBODY></TABLE></TD></TR></TBODY></TABLE>