세메스, 日에 의존하던 반도체 이머전 스피너 ‘오메가 프라임’ 본격 양산

[누구도]

세메스, 日에 의존하던 반도체 이머전 스피너 ‘오메가 프라임’ 본격 양산
반도체 핵심 공정 장비, 日 의존도 줄였다

황민규 기자
입력 2024.06.24. 15:12
세메스가 양산 개발에 성공한 이머전 스피너(오메가 프라임). /세메스 제공
세메스가 양산 개발에 성공한 이머전 스피너(오메가 프라임). /세메스 제공
토종 반도체 장비업체인 세메스는 그동안 일본에 의존해 온 반도체 포토공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 국내 최초로 개발해 지난해 양산 1호기 출하에 이어 올해 2호기 제작에 나서면서 본격 양산에 들어갔다고 24일 밝혔다.

스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(Photo Resist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본의 최대 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있는 분야다.

세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산해 왔으며, 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 개발했다.

불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로, 세메스는 코팅, 현상프로세스 유닛의 조정편차를 없애기 위해 로봇의 위치조정, 베이크 온도셋팅, 노즐조정 등의 자동화시스템을 개발 적용했다. 이외에도 비전감시기능시스템, 베이크 자동보정 등의 특화 기술도 탑재했다.

최길현 CTO는”반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 예상한다”며 “앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다”고 밝혔다.



황민규 기자
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멸공필승
2024.06.24 16:32:30
일 의존도 90% 반도체 핵심장비 개발한 우리나라 중소기업에 박수를 보냅니다.

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지렁이
2024.06.24 17:37:58
세메스는 연매출 2.5조에 달하는 국내최대의 반도체 장비업체로, 삼성전자의 비상장 자회사입니다. 중소기업은 아니죠.
이방개
2024.06.24 18:41:03
반도체 핵심 제조시스탬 국산으로대처합시다 중소기업파이팅

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사람이최고
2024.06.24 20:39:23
개발이 끝나도 규모의 경제 때문에 가격 경쟁력을 당장 갖기 어려울 것이다. 그리고 반도체 라인은 워낙 고가라 검증이 안 된 신제품, 신소재를 채택하기가 싶지 않고, 적용하려면 부작용에 따른 손해를 보상해준다는 각서를 써야한다. 중소업체가 감당하기 쉬운 수준이 아니다. 정부가 이런 점에서 보증을 해주는 제도를 준비하기 바란다.

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그래요
2024.06.24 20:44:11
대박나셔야 합니다!

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칼네아데
2024.06.24 15:52:22
일본걸 써야지. 감히 한국 업체에서 기술 독립을 하려고 해? 윤석열이 때려잡으려 오겠구만 ㅉㅉ

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