경매번역카페 무료번역질문:
이번 노즐 변경 설계 목적은 무엇인가?
증착시 노즐 내부의 일정한 압력이 유지되면 증착 균일도가 우수할것이다.
때문에, 노즐의 일정한 압력 유지가 가능한 노즐의 설계가 필요하다.
기존 노즐의 경우 기판크기 200mm X 200mm에서 증착 균일도가 10 % 이상이었다.
때문에, 노즐의 일정한 압력 유지가 가능 할수있도록 도가니(Crucible)내부로 노즐의 위치를 15mm 내려서 설계했다.
실험결과 매우 우수한 결과를 얻을수 있었다.
데이타를 비교해 보세요.
* 증착시 노즐 내부의 일정한 압력을 보여주고 있음
* 증착시 노즐 내부의 불일정한 압력 보여주고 있음
* 빨간색 선을 분석하면 증착분포도를 알수있음
진심 부탁드립니다.
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첫댓글 진이에요님도 받아보세요... 모든 자격증에 대한 자료를 무료로 받을수 있네요..
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