<![CDATA[
<div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin" data-link="https://cafe.daum.net/subdued20club" data-link-newwindow="_blank"><a href="https://cafe.daum.net/subdued20club" target="_blank" class="ke-link"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/c66b4a1a23c64192bd183f48a1868843d96257d5" width="288" height="288" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/c66b4a1a23c64192bd183f48a1868843d96257d5" data-origin-width="1024" data-origin-height="1024"></a></div><p style="text-align: center;">출처: <a href="https://gall.dcinside.com/board/view/?id=dcbest&no=224674" target="_blank" class="ke-link">https://gall.dcinside.com/board/view/?id=dcbest&no=224674</a></p><p style="text-align: center;"> </p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/45ad50b12641e14d122beaac9abdef1a012cbd24" class="txc-image" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/45ad50b12641e14d122beaac9abdef1a012cbd24" data-origin-width="850" data-origin-height="642"></div><p> </p><p> </p><p>이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임</p><p> </p><p> </p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/ba1d84c4cabfca5f57315d65c0e2c8b88a13aae8" class="txc-image" width="850" height="566" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/ba1d84c4cabfca5f57315d65c0e2c8b88a13aae8" data-origin-width="850" data-origin-height="566"></div><p style="text-align: center;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML</span><span data-ke-size="size18">이 독점생산하고 있으니</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 </span><span data-ke-size="size18">반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size26">1. 광원 생성</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">이런 빛을 만들기 위해서는 </span><span data-ke-size="size18">독특한 방법이 필요하다</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.</span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/d30b90a18f538e984c88242ba66686a6dbfe6a51" class="txc-image" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/d30b90a18f538e984c88242ba66686a6dbfe6a51" data-origin-width="640" data-origin-height="360"></div><p><span style="color: #333333;" data-ke-size="size16">위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다</span></p><p><span data-ke-size="size16"> </span></p><p> </p><p><span data-ke-size="size20">초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면</span></p><p><span data-ke-size="size20"> </span></p><p><span data-ke-size="size20">그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다</span></p><p><span data-ke-size="size20"> </span></p><p><span data-ke-size="size20">그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다</span></p><p> </p><p> </p><p><span data-ke-size="size20">그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다</span></p><p> </p><p> </p><p> </p><p>이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다</p><p> </p><p> </p><p> </p><p><span data-ke-size="size26">2. 광학계</span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/b2a213c0b569059fed7b95788756ac5097c322d7" class="txc-image" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/b2a213c0b569059fed7b95788756ac5097c322d7" data-origin-width="640" data-origin-height="360"></div><p> </p><p style="text-align: start;">EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다</p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 </span><span data-ke-size="size18">광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size16">물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size26">3.레티클(마스크)</span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/f887140f1721221f8bc478719c180cdcbfc7879f" class="txc-image" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/f887140f1721221f8bc478719c180cdcbfc7879f" data-origin-width="640" data-origin-height="360"></div><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20"> </span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/1c26140848df1df2ac97abb588a528bdf56fc168" class="txc-image" width="850" height="478" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/1c26140848df1df2ac97abb588a528bdf56fc168" data-origin-width="850" data-origin-height="478"></div><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">그 외 여러가지 기술들이 있지만</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18">EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/ec9bb1967fcb484ba74ba6f27d4ac39ddae24d8e" class="txc-image" width="648" height="838" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/ec9bb1967fcb484ba74ba6f27d4ac39ddae24d8e" data-origin-width="648" data-origin-height="838"></div><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"><br><br></span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">움직이는 웨이퍼와 렌즈 </span><span data-ke-size="size20">사이의 공기층을 물로 채워</span><span data-ke-size="size20"> 노광작업을 진행시키는 액침노광기술</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;">(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은<span data-ke-size="size16"> 해상도를 구현한다</span><span data-ke-size="size16">)</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><div class="figure-img" data-ke-type="image" data-ke-style="alignCenter" data-ke-mobilestyle="widthOrigin"><img src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/d035254ed8c5796c48508f7f389710b011502de7" class="txc-image" width="301" height="168" data-img-src="https://t1.daumcdn.net/cafeattach/1IHuH/d035254ed8c5796c48508f7f389710b011502de7" data-origin-width="301" data-origin-height="168"></div><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size18"> </span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원</span><span data-ke-size="size20">하는 조명패턴을 만들어내는</span></p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size20">FlexRay기술등이 있다</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span data-ke-size="size16">(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">이렇게 기술이 중요한데</span><br><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">R&D 예산을 삭감한 ㅅㅂㅅㅂ</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">잘모르는 댓펌</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">쟤네 장비를 일년에 10대정도 만드는데</span><br><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">개 당 가격이 수천억 ㅋㅋ</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"><span style="color: #000000; background-color: #ffffff;" data-ke-size="size16">ㅋㅋ 저렇게 아무런 문제도없는 기계인거처럼 설명하고 설명끝나고 따로 ASML 현직자들한테 물어보면 스테이지 비롯해서 여기저기서 이슈가 너무많아서 하루종일 실패만 하다가 갑자기 한번 조건 잘잡혀서 공정 잘되면 그때부터 다시 안될때까지 개노가다하는 식으로 한다던데 ㅋㅋ 하루내내 끝까지 공정안되는 날에는 제조사에서 asml한테 개지랄하는거고</span></p><p style="text-align: start;"> </p><p style="text-align: start;"> </p>
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카페 게시글
악플달면 쩌리쩌려버려
흥미돋
ASML에서 독점 생산하는 EUV 노광 장비를 알아보자
흥미돋는글
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24.04.20 11:52
댓글 10
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첫댓글 우리회사를 여기서 볼줄이야 깜놀ㅋㅋㅋㅋㅋ 저거 말고 이번에나온장비도 있는데 그건 더노답 ㅠ
와 멋있다.... 꿈의 회사인데 ... 난 다른 반도체장비회사인데 너무 가고싶어,...ASML...
이번에 asml 실적 잘 안나와서 슬픔 ㅠ
진짜 무슨말인지 1도 모르겠다 이과 대단해....
asml 주식 사놓고싳은데1주가 너무 비싸 ㅅㅂ..
머야 진짜 대단한 기계인거 같은데 생각보다 아등바등 되는거라 ㅎㅎㅎ 노답인거넿ㅎㅎ 그래도 대단한기계 발명한거니 신기
슈퍼을회사랰ㅋㅋㅋㅋ반도체회사들 빌빌긴다고ㅠ
나 서류에서 떨굼 ㅡㅡ
와 글 잘읽었어! 역시 기술의 아스믈이군
와 짖짜 멋진데...? 진짜 기계공학과 대학원 알아볼까 ㅋㅋㅋ 재밌다아아아아아ㅏㅏㅏㅏㅏ 더올려줘 글