어플라이드 머티어리얼즈 코리아(주)

[예스맨]

1989년 어플라이드머티어리얼즈(Applied Materials) 홍콩의 한국지사로 출발하여 1991년 수원과 청주에 지사를 개설하고, 1993년 인천에서 어플라이드머티어리얼즈코리아(주)를 창립하였다. 1994년 기술센터를 준공하고 1996년 충청남도 천안으로 본사를 이전하였다. 1998년 미국에 지사를 설립하고, 1999년에는 ISO(국제표준화기구) 9002 품질시스템 인증을 획득하였다.

세계 최대의 반도체 장비 생산 및 서비스 회사인 미국의 어플라이드머티어리얼즈의 한국법인으로서, 주요 제품은 ETCH, PVD, CVD, RTP, Epi, CMP, CD-SEM 등이며, 반도체업체의 부품 재고관리와 장비 유지보수 관리 프로그램인 고객지원서비스 프로그램 TSS(Total Service Solutions)를 개발·제공하고 있다.

어플라이드 머티리얼즈사는 장비 산업에서 가장 앞선 기술력과 다양한 기술을 보유한 회사이다. 그 기술은 다음과 같다: 시스템 구조-성장의 기반 반도체 공정 장비의 구조는 기본적으로 일괄 또는 단일 웨이퍼 디자인으로 되어 있다. 이름이 나타내고 있듯이, 일괄 시스템은 많은 웨이퍼를 한 번에 처리하며, 단일 웨이퍼 시스템은 각각의 웨이퍼를 독립적으로 처리한다. 단일 웨이퍼 시스템은 단일 챔버와 멀티챔버 시스템으로 나눌 수 있는데, 멀티 챔버 시스템은 연속되는 많은 개별적인 공정 챔버를 하나의 플랫폼에서 사용할 수 있으며, 각각의 챔버에서 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다. 어플라이드 머티리얼즈사는 단일 웨이퍼, 멀티 챔버 구조의 세계적인 선두 회사이며, 현재 Centura, Endura, Producer라는 3개의 주요한 공정 플랫폼을 가지고 있다. 가장 최신의 공정 플랫폼인 Producer 는 1998년에 소개되었는데, 3개의 단일 웨이퍼, 이중 챔버 공정 모듈을 가지고 있는 혁신적인 구조이다. 웨이퍼는 이중 챔버 내.외부로 짝을 이뤄 이동이 가능하다. Producer의 6장의 웨이퍼를 동시에 다룰 수 있는 시스템은 네 장의 웨이퍼를 한 번에 사용하는 Centura 시스템보다 50% 이상 높은 생산성을 보인다. 어플라이드 머티리얼즈사는 또한 단일 기능 공정을 목적으로 하는 전용 플랫폼에 쓰이는 여러 가지 기술들도 보유하고 있다. Mirra CMP 시스템, 이온 주입 Quantum-시리즈, Electra Cu ECP 시스템, 결함 감지 및 계측 시스템은 기술의 발전과 미래 기술의 채용을 목적으로 독자적인 플랫폼을 사용한다.

주요제품
CVD
PVD
RTP
CMP
SEM
CPS

Copany Homepage
http://www.amat.co.kr