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<P><a href="javascript:checkVirus('grpid%3D1QZDU%26fldid%3D7TIe%26dataid%3D5%26fileid%3D3%26regdt%3D20120803172108&url=http%3A%2F%2Fcfile259.uf.daum.net%2Fattach%2F111BE03F5020BE140620B3')"><img src="https://t1.daumcdn.net/daumtop_deco/icon/icon.hanmail.net/editor/p_pdf_s.gif?rv=1.0.1" border="0" alt="첨부파일" class="vam"/> 재생.pdf</a></P>
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<P>일반적인 CRYO PUMP의 재생 플로어 입니다.</P>
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<P>승온과정→초기 PUMPING→CRYO PUMP COOL DOWN</P>
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<P>CRYO PUMP의 재생시 주의 사항</P>
<P>1.CRYO PUMP승온시 충분히 온도를 올려준다.</P>
<P> →300K이상 온도를 올려주면 CRYO PUMP의 내부에 수분을 없애는데 효과적임(단,320K이상은 올리지 말것)</P>
<P>2.재생시 N2 Gas를 충분히 주입할것</P>
<P> →N2가스를 사용하지 않고 대기압 상태로 방치할 경우 CRYO PUMP내부의 수분에 의해 초기 PUMPING시간과 COOL DOWN시간이 길어질수 있습니다.</P>
<P>3.초기 PUMPING은 40Pa이하까지 PUMPING할것</P>
<P> →초기 PUMPING이 부족한 경우 COOL DOWN시간이 길거나 CRYO PUMP의 펌프 케이스에 성애가 발생하게 됩니다.</P>
<P> (단,로터리 PUMP를 사용할 경우 20Pa이하로 PUMPING하지는 말것)</P>
<P>4.CRYO PUMP COOL DOWN시 외부에 성애가 생기는지 확인할것</P>
<P> →성애가 생긴다면 어떤 부분의 리크가 발생 했거나 CRYO PUMP내부에 수분이 있으므로 충분한 재생이 필요 합니다.</P>
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<P>기타 추가 문의 사항은 메일이나 쪽지로 요청하세요!!</P>
<P>(자료는 상세하게 올리지 않았습니다.필요하신 부분은 요청 하시기 바랍니다.)</P>
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