SEMI FPD LOVE

마이크로닉 레이저 시스템 대형 애플리케이션용 포토마스크 양산 위한 ‘FPS5100’ 출시 최근 포토마스크용 레이저 패턴 생성기 전문 업체인 마이크로닉 레이저 시스템은 기술세미나를 개최하고, 생산성이 더욱 강화된 마이크로닉의 새로운 패터닝 기술 및 서비스에 대한 정보를 제공했다. 한국시장을 중심으로 아시아내 비즈니스를 확장할 것을 밝히며, 최근 출시된 반도체, 디스플레이 분야의 신제품을 소개했다. 글·유효정 기자(daphne@displayasia.net) 포토마스크용 레이저 패턴 생성기 전문 업체인 마이크로닉 레이저 시스템은, 디스플레이 대형화에 대응하는 LCD용 포토마스크 양산을 위한 ‘FPS5100’을 필두로 한국시장에서의 입지를 강화한다. 스웨덴에 본사를 둔 마이크로닉 레이저 시스템은, 디스플레이용 포토마스크 애플리케이션 업계 부문 현재 세계시장에서 독보적인 위치를 점하고 있으며, 디스플레이용 포토마스크 계측 시스템(위치정밀도 측정)까지 제조, 판매하는 유일한 기업이다.  최근 출시한 ‘FPS5100’는 TN/STN LCD 및 대형 디스플레이용 포토마스크 애플리케이션을 강화하는 마이크로닉의 LSR패턴 생성기 라인에 속하는 신제품으로, 호환성 및 생산성·안정성이 뛰어나다. 회사측은, 이 제품이 내년 하반기부터 시장에 공급되며, 마스크 제조업체들의 비용감소, 소요시간의 단축, 제품기획의 용이성과 같은 이점을 얻을 수 있다고 설명했다.  이 회사는, 지난 달 11일 포토마스크 제조 산업 성장을 위해 기술세미나를 개최해 마이크로닉의 새로운 패터닝 기술 및 서비스에 대한 정보를 함께 제공했다. 마이크로닉의 스벤 로프퀴스트(Sven Lofquist) 사장 및 CEO는 “우수한 패키징 서비스 및 지원 제공을 비롯해 기술, 공정, 업무 처리 분야의 교육을 제공함으로써 고객들이 사업 목표 뿐 아니라 기술적인 로드맵 완성을 돕고 있다”며 “한국 시장에 발을 들여 놓은 지 15년이 지난 지금, 이미 20대가 넘는 제품을 납품했으며, 세계시장에서 한국기업의 입지가 뚜렷해지는 현재 한국시장의 중요성은 더욱 커지고 있다”고 설명했다. 스벤 로프퀴스트 대표는 근거리 지원을 기반으로 고차원적 고객 지원시스템을 갖추고, A/S를 강화하는 등 보다 차별화된 양질의 서비스를 제공할 계획이라고 덧붙였다. 이날 마이크로닉 레이저시스템의 이창희 한국 지사장은 TFT-LCD를 위한 자사의 패턴 생성기와 측정 툴을 소개했다. 이 대표는 “7, 8∼10세대에 걸친 대면적화에 대응할 수 있는 강력한 두 가지 툴”이라며 대면적에 관계없이, 더욱 정확도를 높이고 균일성을 확보할 수 있다고 전했다. 특히, 1.5m 거리를 50nm 거리로 측정가능 한 Measurement툴(MMS)은, 시장에나온 제품 중 대면적화에 적용 가능한 유일한 시스템이다. 이 대표는 오는 4분기 디스플레이 시장이 활성기에 접어듦에 따라, 관련 장비시장도 활기를 띌 것으로 예상했다.  마이크로닉은 현재 디스플레이 분야에서 TFT 디스플레이용인 LRS 시리즈와 수동 매트릭스 형 LCD(PM-LCD)제품 및 PDP 용인 MP시리즈를 시장에 선보이고 있다. LRS 시리즈 중 LSR15000 시스템은 초대형 마스크를 생산가능하며, LRS11000 시스템은 거의 모든 최신 디스플레이에 적용 가능하다.  이 두 시스템은 그레이톤 마스크와 대형 LTPS 마스크를 비롯, 첨단 포토마스크에 필요한 고해상도 요구에 대응하는 제품이다. MMS15000은 대형 포토마스크용 레지스트레이션 측정 시스템으로써, 뛰어난 해상도를 갖춘 최신 디스플레이 포토마스크를 신속하게 측정할 수 있는 시스템이다. MMS15000과 LRS15000은 마스크 제조업체를 위해 상호보완시스템으로 구축된다.