삼성반도체 '환경수첩'에 기재된 공정별 사용물질과 인체독성 분석자료

[반올림]

○ 환경수첩 (표]-공정별 사용물질과 건강영향

1996~1997년 삼성반도체 기흥공장 엔지니어에게 지급한 환경수첩에 기재된 표.

공정		분류	화학물질	특성	환경영향
Diffusion		가연성 가스	H₂(수소)	가연성, 폭발성	화재
		독성가스	HCl(염화수소) POCl₃(옥시포클린)	독성, 부식성	산성비 고엽현상
		기타가스	산소, 질소	조연성, 질식성	화재
CVD	LP	가연성가스	SiH2Cl₂(디클로로실렌)	가연성, 폭발성 독성, 부식성	화재 구조물부식
		독성 가스	NH₃(암모니아)	가연성, 폭발성 독성, 부식성	구조물부식 어류피해
		기타 가스	질소, 이산화질소	조연성, 질식성	동식물피해
	AP	가연성 가스
		독성 가스	WF₆(육불화텅스텐), HF(불화수소)	독성, 부식성	동식물피해
		기타 가스	질소, 산소	조연성, 질식성	화재
Dry Etch		독성가스	NF₃(삼불화질소), BCl₃(삼염화붕소), 염화수소, 육불화황, 사염화규소	독성, 부식성	산성비 고엽현상 구조물부식
		기타가스	할륨, 삼불화에탄, 프레온116, 사불화메탄	조연성, 질식성	질식
Ion Imp		가연성 가스	AsH₃(아르신), PH₃(포스핀)	폭발성, 독성, 부식성	화재 하천오염
		독성가스	BF₃(삼불화붕소)	폭발성, 독성, 부식성	질식
Metal증착		기타 가스	Ar(아르곤)	질식성	질식
EPI공정		액화 가스	SiHiCl₂(디클로로실렌),HCl(염소) SiHiCl₃(트리클로로실렌) PH₃(포스핀), B₂H₆(디보란)	독성, 부식성	악취(질식) 구조물 부식
세정, 식각		유기용제류 (SOLVENT)	(CH)₂CO, IPA, ACT-CMI CH3Cl, TCE,각종 THINNER	인화성 독성	식수오염 농작물피해 생물체 암유발
		산류	H₂O₂,H₂SO₄,HNO₃, HF, HCl, H₃PO₄,CH₃COOH,각종혼합산류(MIAED ETCHANT)	독성, 부식성 산화성, 접촉성	어류피해 토양 산성화
		알칼리류	NH₄CH, NH₄F	독성, 부식성	하천오염
사진		유기화합물	사진감광액(pr) 표면밀착제(HMDS) (CH₃)₂CO, THINNER	독성 인화성 접촉성	식수오염 농작물 피해 생물체 암유발
		알칼리류	사진현상액	독성 부식성	하천 오염
불순물 침적		액화가스	옥시염화인(POCl₃) 브롬화붕소	독성 부식성, 질식성	질식
UTIUTY		산류	H₂SO₄, HCl, H₂O₂, NaHSO₃, NaCCl	독성, 부식성 접촉성, 화성	식수오염 농작물 피해 생물체 암유발
		알칼리류	Naoh, Ca(OH)₂, Na₂CO₃, KOH	독성 부식성, 접촉성	하천오염
		알콜류	CH₃OH	독성, 인화성	악취

○ 위 표의 사용물질과 인체 독성정보 분석자료

1. Diffusion (확산공정)

1) H2 수소

호흡기 노출 시 자극, 구역, 구토, 호흡곤란, 정서장애 등을 일으킬 수 있음

피부접촉시 자극이 있으며 동상을 입을 수 있음. 눈 접촉시 동상을 입을 수 있음

2) HCl 염화수소(염산)

1회 노출시 사람에서 흡입 노출에 의해 호흡곤란, 후두염, 기관지염, 기관지 수축, 폐렴 등의 증상, 상기도의 부종, 염증, 괴사, 폐수종이 나타남.

반복노출시, 침식에 의한 치아의 손상이 보고됨. 만성 기관지염의 발생 빈도가 증가됨

3) POCl3 옥시포클린(포클) CAS번호 10025-87-3 포스포러스옥시클로라이드

현기증, 두통, 식욕부진, 탈력감, 구역질 등의 중추신경계에의 영향이 나타남.

호흡곤란, 기관지염, 기관지 폐렴, 폐수종이 나타남

심한 피부자극, 화상, 눈 자극, 현기증, 두통, 식욕 부진, 탈력감, 구역질 등 중추신경계 증상

4) O2 산소

자극, 저체온 또는 발열, 구역, 호흡곤란, 불규칙 심장박동, 현기증, 지남력 상실, 환각,

감정변화, 극도의 고통, 떨림, 폐 울혈, 경련, 흉통, 폐 이상

5) N 질소

자료없음

2. CVD (LP)

1) SiH2Cl2 디클로로실렌 CAS번호 4109-96-0

흡입시 유해, 호흡기도 화상, 자극, 호흡곤란, 현기증, 푸른빛 피부색, 폐 울혈, 위장장애, 점막화상, 피부화상, 눈화상

2) NH3 암모니아

자극성 및 화학적 화상, 고농도 노출시 심각한 눈장해, 천식.

1회노출시 호흡곤란, 폐수종, 기관지 폐렴, 반복노출시 만성호흡곤란, 수축성 폐기능 장해, 폐색성 폐질환

3) N 질소

- 상동

4) NO2 이산화질소

화상, 구역, 위통, 호흡곤란, 불규칙 심장박동, 두통, 현기증, 청색증, 폐이상, 사망 일으킬 수 있음

3. CVD (AP)

1) WF6 육불화텅스텐 (헥사플루오르화 텅스텐) CAS번호 7783-82-6

호흡기도 화상, 피부화상, 눈화상, 점막화상, 눈물

화상, 발진, 구역, 설사, 위통, 호흡곤란, 불규칙 심장박동, 두통, 시각 장애, 마비, 경련, 혼수, 천식

2) HF 불화수소

피부 부식성이 보고됨, 알레르기성 피부염이 나타남

1회 노출 시 기도나 폐의 손상, 코점막에 자극성, 눈결막이나 기도에 자극성이 나타남, 폐수종, 폐의 출혈성 수종, 기관지염, 췌장의 출혈 및 괴사가 보고됨, 반복 노출 시 뼈에 불소 침착증(뼈밀도의 증가, 뼈의 형태적 변화), 기억 상실, 하수체로부터 갑상선 기능 이상이 보고됨

4. Dry Etch

1) 삼불화질소 NF3

자극, 구역, 구토, 호흡곤란, 불규칙 심장박동, 두통, 졸음, 현기증, 지남력 상실, 감정변화, 푸른빛 피부색, 경련, 혼수, 치아변색

2) 삼염화붕소 BCl3

화상을 일으킬 수 있음, 피부부식, 눈부식, 기도부식성에 의해 폐수종

3) 염화수소(염산) HCl

중정도의 피부 자극성, 궤양, 화상이 보고됨, 눈에 대해서도 영구적인 손상이나 실명이 우려됨, 기관지 경련을 일으켜 천식성 증상을 나타냈다고 보고됨, 사람에서도 피부과민 음성 반응을 나타냄

1회 노출시 흡입 노출에 의해 호흡 곤란, 후두염, 기관지염, 기관지 수축, 폐렴 등의 증상, 상기도의 부종, 염증, 괴사, 폐수종이 나타남, 반복 노출시 반복 노출로 침식에 의한 치아의 손상이 보고됨, 만성 기관지염의 발생 빈도가 증가됨

4) 육불화황 Sulfur hexafluoride2551-62-4

호흡곤란, 구역, 구토, 피로, 현기증, 정서 장애, 얼얼한 느낌, 질식, 경련, 혼수

5) 사염화규소 Silicon tetrachloride10026-04-7

호흡기도 화상 점막 화상 피부 화상 눈 화상

6) 헬륨 - 자료없음

7) 삼불화에탄

경미한 자극, 구토, 불규칙 심장박동, 졸음, 명정증상, 질식, 폐 울혈을 일으킬 수 있음. 경미한 자극, 구토, 불규칙 심장박동, 졸음, 명정증상, 질식, 폐 울혈, 설사, 푸른빛 피부 색을 일으킬 수 있음. 자극을 일으킬 수 있음. 1회 노출시 사람에서 일과성의 정신 운동 능력의 저하，경면，현기증，기억 장애 등의 마취 작용에 수반한 증상，기도 자극성이 보고됨, 반복 노출시 사람에서 신경 심리학적 증상，정신 능력 저하, 간장에 지방 침투를 수반한 간 기능 장애가 보고됨.

8) 프레온 116

- 자료없음

9) 사불화메탄

- 피부, 눈에 자극을 일으킴. 1회 노출시 호흡기계 자극을 일으킴

5. Ion Imp

1) 아르신 AsH3

사람에서 용혈성 빈혈, 두통, 헤모글로빈 저하, 피부의 적색 반, 황달, 쇼크, 폐수종, 급성 순환 장애, 간염, 신장에 영향 등을 일으킴, 반복 노출시 헤모글로빈값 저하를 일으킴, 발암성

2) 포스핀 PH3

1회 노출시 신경계, 소화관 및 호흡기에 영향을 일으키며, 황달, 간종대, 지각 이상, 진전, 국소성 심근 괴사, 구토, 설사 등이 나타남. 폐기종, 마비, 기관지계에 영향

3) 삼불화붕소 BF3

흡입시 치명적일 가능성이 있음, 화상을 일으킬 수 있음, 피부에 부식성이 있어, 중증의 화상을 일으킴.

1회 노출시 기도 자극성, 기도의 부식, 폐의 장해(폐의 울혈, 폐수종, 폐렴)가 보고됨. 사람의 심혈 관계의 장해(심근 장해, 순환성 쇼크)가 나타남. 사람에서 신경계에의 영향(반사감약, 경면, 실신, 혈압 저하, 호흡 항진 및 억제)이 보고됨.

반복 노출시 신장 독성, 코점막과 잇몸의 출혈, 폐기능 저하, 뼈경화증, 뼈의 취약화, 에나멜질의 용해 및 불소 침착증이 보고됨.

6. Metal 증착

1) Ar 아르곤

극저온 냉화상 또는 손상을 줄 수 있음, 1회 노출시 숨이 막히고, 동상을 일으킬 수 있음.

7. EPI 공정

1) 디클로로실렌 SiHiCl2

가능성이 높은 노출 경로에 관한 정보 : 흡입시 유해, 호흡기도 화상, 자극(심한 경우도 있음), 호흡곤란, 현기증, 푸른 빛 피부 색, 폐 울혈, 위장 장애 점막 화상 피부 화상, 자극(심한 경우도 있음) 눈 화상, 자극(심한 경우도 있음) , 주로 기관지계 영향, 화학성 폐렴, 폐기종,

피부, 눈 자극성으로 통증, 붉은반점 심한통상

2) HCl

중정도의 피부 자극성, 궤양, 화상이 보고됨, 눈에 대해서도 영구적인 손상이나 실명이 우려됨, 기관지 경련을 일으켜 천식성 증상을 나타냈다고 보고됨, 사람에서도 피부과민 음성 반응을 나타냄

1회 노출시 흡입 노출에 의해 호흡 곤란, 후두염, 기관지염, 기관지 수축, 폐렴 등의 증상, 상기도의 부종, 염증, 괴사, 폐수종이 나타남, 반복 노출시 반복 노출로 침식에 의한 치아의 손상이 보고됨, 만성 기관지염의 발생 빈도가 증가됨

3) 트리클로로실렌 SiHCl3

가능성이 높은 노출 경로에 관한 정보 : 흡입시 유해, 호흡기도 화상, 호흡곤란, 두통, 현기증, 푸른 빛 피부 색, 폐 울혈, 위장 장애 점막 화상, 구토, 설사 피부 화상 눈 화상, 흡입시 주로 기관지계 영향, 고농도 치명적

4) 포스핀 PH3

1회 노출시 신경계, 소화관 및 호흡기에 영향을 일으키며, 황달, 간종대, 지각 이상, 진전, 국소성 심근 괴사, 구토, 설사 등이 나타남. 폐기종, 마비, 기관지계에 영향

5) 디보란 B2H6

화상, 호흡곤란, 두통, 현기증, 시력불선명, 폐 울혈, 신장 이상, 간 이상, 사망을 일으킬 수 있음. 중대한 부작용에 대한 정보는 없음. 자극(심한 경우도 있음)을 일으킬 수 있음

피부, 눈에 부식성이 있음

1회 노출시 호흡기에 자극, 폐수종, 폐렴, 기관지에 영향을 일으킴, 반복 노출시 사람에서 신경계 중독이 나타남.

8. 세정, 식각

1) 아세톤 (CH3)2CO

극인화성가스로서 피부접촉 시 자극유발, 눈 접촉 시 자극 및 심한 손상유발,

흡입 시 장기에 치명적인 독성유발(급성독성)

2) 이소프로필알코올 IPA (C3H8O) CAS번호 67-63-0

고인화성 액체 또는 증기로서, 삼켜서 기도로 유입되면 호흡기계 자극유발

눈 접촉시 심한 손상 또는 자극유발, 태아 또는 생식능력에 손상야기 의심물질

장기간 반복노출 시 장기에 치명적 손상유발

눈에 심한 자극, 호흡기계 자극, 소화관의 자극, 혈압, 체온 등의 저하, 중추신경 증상, 신장 장해. 태아 또는 생식능력에 손상.

3) 디메틸아세트아미드, 2-메틸에탄올아민 혼합물 (C4H9NO) CAS번호 127-19-5

ACT-CMI (NN-Dimethylacetamide, 2-Methylaminoethanol)

피부접촉 시 자극유발, 눈 접촉시 자극 및 심한 손상유발, 흡입 시 호흡기계 과민반응 유발,

발암성 물질, 태아 또는 생식능력 손상유발 (생식세포 변이원성물질)

4) 염화메틸 CH3Cl (Cas NO. 74-87-3)

피부 접촉 시 심한 자극유발, 눈 접촉 시 자극 및 심한 손상유발, 졸음 또는 현기증 유발(마취작용),

발암성물질, 장기간동안 반복노출 시 장기손상유발

현기증, 허약, 운동 실조, 기면, 불면, 착란, 감각 이상, 신경증 및 우울증, 구토 및 중증의 두통.

반복노출 시 간장과 신장에 독성-황달, 무뇨, 단백뇨. 태아손상, 생식능력 손상.

5) TCE 트리클로로에틸렌(C2HCl3) (Cas NO. 79-01-6)

단기간 흡입 시 자극, 혈압의 변화, 구토, 호흡곤란, 불규칙한 심장박동 유발

장기간 노출 시 암 유발(발암성물질), 두통, 졸임 또는 현기증 유발 (마취작용),

피부접촉 시 피부과민반응, 시각장애유발

- 발암 가능성 높음: 백혈병, 비호지킨스림프종, 간, 신장,

- 발암 가능성 있음: 뇌, 유방, 경부, 호지킨스림프종, 폐, 췌장, 고환

발암물질(IARC: 2A-인체발암추정물질//ACGIH: A2-인체 발암성 추정물질), 동물에서 간암, 신장암 발생. 태아손상, 생식능력 손상.

6) 각종 Thinner(신너)

자극, 구역, 두통, 졸음. 폐 울혈, 경련, 혼수야기, 불규칙적 심장박동 유발 가능

신너는 벤젠, 톨루엔 등의 혼합물로 주로 페인트를 묽게(thin) 하는데 사용함. 여러 가지 전자제품 제조공정에서 세척제 등 다양한 용도로 사용했음. 제품별로 성분이 다양하나 과거 벤젠이 60% 이상 포함되기도 했음. 현재 사용하는 신너는 벤젠, 톨루엔의 농도가 낮음.

7) 과산화수소 H2O2

사람에서 코, 목, 기관에 자극을 일으킴, 반복 노출 시 폐에 자극을 일으킴. 백혈구수, 적혈구 용적률 값에 영향을 주고 용혈을 일으킴

8) 황산 H2SO4

저농도의 흡입 노출에 의해 기침, 헐떡임 등의 기도 자극 증상이 나타남. 고농도 노출에서는 기침, 헐떡임, 혈담 배출 등의 급성 영향, 폐기능 저하 및 섬유화, 기종 등의 영구적인 영향이 나타남. 발암성(폐암, 후두암)

9) HNO3

피부 부식성 물질. 사람에서 격렬한 화상, 각막의 혼탁, 시력 장해, 실명을 일으킴.

1회 노출 시 흡입에 의해 상기도 자극, 기침, 호흡 곤란, 가슴 통증, 폐수종을 일으킴, 반복 노출 시 직업적 폭로에 의해 만성 기관지염 및 치아의 침식이 나타남.

흡인에 의해 화학성 폐렴을 일으킴.

10) 불산 HF

피부 부식성이 보고됨, 알레르기성 피부염이 나타남

1회 노출 시 기도나 폐의 손상, 코점막에 자극성, 눈결막이나 기도에 자극성이 나타남, 폐수종, 폐의 출혈성 수종, 기관지염, 췌장의 출혈 및 괴사가 보고됨, 반복 노출 시 뼈에 불소 침착증(뼈밀도의 증가, 뼈의 형태적 변화), 기억 상실, 하수체로부터 갑상선 기능 이상이 보고됨

11) 염산(염화수소) HCl

중정도의 피부 자극성, 궤양, 화상이 보고됨, 눈에 대해서도 영구적인 손상이나 실명이 우려됨, 기관지 경련을 일으켜 천식성 증상을 나타냈다고 보고됨, 사람에서도 피부과민 음성 반응을 나타냄

1회 노출시 흡입 노출에 의해 호흡 곤란, 후두염, 기관지염, 기관지 수축, 폐렴 등의 증상, 상기도의 부종, 염증, 괴사, 폐수종이 나타남, 반복 노출시 반복 노출로 침식에 의한 치아의 손상이 보고됨, 만성 기관지염의 발생 빈도가 증가됨

12) 인산 H3PO4

가능성이 높은 노출 경로에 관한 정보 : 화상을 일으킬 수 있음. 피부에 자극성이 있음. 눈에 심한 손상을 일으킴, 1회 노출 시 상기도를 자극함

13) 아세트산 CH3COOH

사고로 각막의 마비나 혼탁을 일으킴. 흡입 노출에 의해 기관지 천식 등 호흡기 과민증이 유발됨

1회 노출 시 사람에서 혈관 내 응고 장해, 중증의 용혈을 일으킴, 사람에서 흡입 노출에 의해 코, 상기도, 폐에 대한 자극이 나타남, 사람에서 증기를 흡입하면 기도 부식성, 폐수종을 일으킴

14) NH4CH

화상을 일으킬 수 있음. 화상, 사망을 일으킬 수 있음

심한 피부손상 또는 자극성 물질, 심한 눈손상 또는 자극성 물질

15) NH4F 불화암모늄

화상을 일으킬 수 있음.

1회 노출시 눈, 피부, 기도를 자극, 반복노출시 뼈나 이에 영향, 불소침착

9. 사진

1) 사진감광액 (PR)

- 사진감광액의 주성분 : 중크롬산염, 벤젠 등

- 중크롬산염 :

피부접촉 시 알레르기성 피부반응유발

흡입 시 알레르기성 반응, 천식 또는 호흡곤란 유발

유전적 결함 의심물질 (생식세포 변이원성 물질)

발암성 물질

- 벤젠 :

고인화성 액체 또는 증기로서 흡입 시 졸음 또는 현기증 유발 (마취작용)

피부자극 및 눈 자극

유전적 결함 의심물질, 태아 또는 생식능력에 손상유발 (생식세포 변이원성)

백혈병 유발 물질 (발암성 물질)

장기손상유발

2) 표면밀착제

- 표면밀착제의 주성분 : HMDS (Hexamethyldisilazane)

- HMD :

고인화성 액체 또는 증기로서 피부와 접촉 시 심한 화상유발

눈과 접촉 시 심한 손상유발

호흡기계 자극 유발

흡입 시 급성독성유발 (경구독성)

3) 아세톤 (CH3)2CO CAS번호 67-64-1

인화성 액체 또는 증기로서 눈과 호흡기계 흡입 시 자극 유발, 졸음이나 현기증 유발(마취작용),

태아 또는 생식능력에 손상유발 가능성 의심

4) 신너 Thinner

자극, 구역, 두통, 졸음. 폐 울혈, 경련, 혼수야기, 불규칙적 심장박동 유발 가능

5) 사진현상액

- 현상액의 주성분 : 하이드로퀴논(Hydroquinone)

- 하이드로퀴논(Hydroquinone) :

눈 손상 및 자극, 피부자극(알레르기성 피부반응), 유전적 결함야기 가능

태아 또는 생식능력에 손상야기, 삼켰을 경우(경구) 급성독성유발

10. 불순물 침적

1) POCl3

눈에 심한 손상 야기, 삼켰을 경우 급성독성유발, 피부에 심한 화상 유발,

장기간 흡입 또는 반복 노출 시 장기손상유발

2) 브롬화 붕소

눈에 심한 손상 야기, 피부에 심한 화상 유발, 장기간 반복노출 시 장기손상 유발

구토유발, 졸음이나 현기증 유발, 혼수 야기

11. UTIUTY

1) H2SO4 황산 ( Cas NO. 7664-93-9)

소화장애, 구토, 설사, 호흡곤란, 폐충혈 및 호흡기 장해유발, 피부화상유발

눈 접촉 시 시력상실 및 녹내장 유발가능, 발암성 물질 (폐암, 후두암)

2) HCl 염산

중정도의 피부 자극성, 궤양, 화상이 보고됨, 눈에 대해서도 영구적인 손상이나 실명이 우려됨, 기관지 경련을 일으켜 천식성 증상을 나타냈다고 보고됨, 사람에서도 피부과민 음성 반응을 나타냄

1회 노출시 흡입 노출에 의해 호흡 곤란, 후두염, 기관지염, 기관지 수축, 폐렴 등의 증상, 상기도의 부종, 염증, 괴사, 폐수종이 나타남, 반복 노출시 반복 노출로 침식에 의한 치아의 손상이 보고됨, 만성 기관지염의 발생 빈도가 증가됨

3) H2O2 과산화수소

피부에 심한 화상 및 눈 접촉 시 손상유발(강산화제), 태아 또는 생식능력 손상유발,

장기간의 노출이나 흡입 시 장기손상유발

4) NaHSO3

흡입 시 알레르기성 반응, 천식, 호흡곤란 등 호흡기계 과민반응유발, 삼켰을 경우 급성독성유발

5) NaCl

눈접촉 시 심한 자극반응유발, 태아 또는 생식능력에 손상유발, 장기간 반복 노출 시 장기손상유발

6) NaOH

피부에 심한 화상 및 눈 접촉 시 손상유발, 장기간 반복노출 시 장기손상유발

7) Ca(OH)2

피부 자극 유발(화상유발 가능), 눈에 심한 손상유발, 장기간 반복노출 시 장기손상유발

8) Na2CO3

피부접촉 시 자극유발, 눈에 심한 자극유발, 흡입 시 급성독성 유발, 호흡기계 자극

9) KOH

삼켜서 기도로 유입 시 치명적임 (경구급성독성), 피부에 심한 화상유발 및 눈에 심한 손상유발

장기간 반복노출 시 장기손상 유발

10) CH3OH

고인화성 액체 또는 증기로 눈에 심한 자극 유발, 호흡기계 자극유발, 졸음 또는 현기증 유발(마취작용),

태아 또는 생식능력에 손상을 일으킬 것으로 의심됨, 장기간 반복노출 시 장기손상유발

<끝>

[희망]

오늘도 새벽에 노란색 탱크로리가 나가더이다.