카네기연구소, CVD 다이아몬드 합성 특허 취득

[여신]

카네기연구소, CVD 다이아몬드 합성 특허 취득

미국의 카네기 연구소가 자체 개발한 ‘무색의 싱글 크리스탈 CVD 다이아몬드를 빠른 속도로 합성하는 과정’에 대해 미국 특허(특허 번호 7,883,684호)를 취득했다.

이 특허는 워싱턴의 Russel J. Hemley, Ho-kwang Mao, Chih-shiue Yan 등 세 명이 2006년 5월 23일에 신청, 2010년 2월 8일에 허가받은 것이다.

특허 초록에서는 “해당 발명은 무색의 싱글 크리스탈 다이아몬드를 빠른 속도로 합성하는 방법에 관련된 것이다. 이 다이아몬드 합성법은 다이아몬드의 성장 표면의 온도를 조절함으로써, 다이아몬드 성장 표면 전체의 온도가 섭씨 20도 이하에 머물도록 하는 것을 포함하고 있으며, H.sub.2 단위당 8~20%의 CH.sub.4, CH.sub.4 단위당 5~25%의 O.sub.2 환경과 일정한 합성 온도를 갖춘 증착실 안에서 마이크로파 플라스마 CVD 방식을 통해 다이아몬드의 성장 표면 위에 싱글 크리스탈 다이아몬드를 성장시키는 것이다”라고 적혀 있다.

이 방법을 통해 10캐럿의 다이아몬드를 합성할 수 있으며, 합성 속도는 시간당 50.mu.m 이상에 이를 수 있다.