로타리 펌프에 대하여

[kensin]

ROTARY PUMP에 대하여

일반적으로 가장 많이 사용하는 PUMP입니다.

PUMP의 단가가 저렴해서 많은곳에 사용되고 있습니다.

원리와 장,단점에 대해 자료를 올리도록 하겠습니다.

-로타리 펌프는 각 회사마다 여러가지 PUMP가 판매되고 있습니다.

하지만 모든 PUMP의 기본 SYSTEM은 동일 합니다.

단지 용량의 차이로 크기가 달라집니다.

*원리

일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 아래의 그림과 같습니다.

그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있는 형태 입니다.

베인(그링에서 ③)은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이생기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적(공간이죠!!)이 달라지게 됩니다.

한쪽, 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 되며,이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 됩니다.

로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나,여러 PUMP들과 함께 사용하여 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있습니다.

*장점

1.각 회사마다 차이가 있습니다만,가장큰 장점은 저렴한 가격 입니다.

2.저진공 영역 어디나 적용 가능 합니다.(특별한 고장이 없습니다.)

3.가장 많은 장점중 중요한 한가지! 다른 PUMP에 비하여 수리비용이 저렴 합니다.

*단점

1.수분에 약합니다.

 →수분이 많이 발생하는 공정이나 여름철에 수분에 의해 로타리 펌프에 들어가는 오일의 점도가 떨어져 진공도가 안나오는 경우가 있습니다.(유분리기를 장착 하거나 오일을 교환하면 정상적인 사용이 가능 합니다.)

2.사용 하시는 진공 장비에 오일의 역류가 일어날 가능성이 있습니다.

 →장치의 SYSTEM조작 실수에 의해 진공도가 높아져있는 챔버에 저진공 밸브가 열리게되면 로타리 펌프에 있는 오일의 역류가 발생하게 되며,고진공 펌프와 함께 PUMPING하시는 경우 순적으로 옹일의 역류가 발생하는 경우등이 있습니다.

3.PUMP에 오일을 사용하기 때문에 배기 라인이나 PUMP주변에 오일로 인한 오염이 발생 합니다.

로터리 펌프의 내용은 위의 내용 정도로 정리 하겠습니다.

(인터넷과 각 메이커의 홈페이지를 방문 하시면 많은 자료들이 있어서...^^;;)

추가적으로 문의 사항이 있으신 경우 작성자에게 메일이나 쪽지로 문의 부탁 드립니다.

작성자: phk8570@hanmail.net