삼성전자는 1개 반도체 공정(레이어)에 동진쎄미켐 EUV PR을 사용하는 것으로 파악됐다. 지난해 동진쎄미켐 EUV PR이 삼성전자 신뢰성 시험(퀄)을 통과한 지 1년이 채 되지 않은 시점이지만 양산라인에 적용한 것이다. 1개 공정은 삼성전자 전체 공정 중에서는 극히 일부다. 그러나 전량 수입에 의존했던 제품이었던 만큼 의미가 남다르다.
동진쎄미켐은 일본 수출 규제 후 삼성전자가 EUV PR 공급망 재편을 시도하자 제품 개발에 본격 뛰어들었다. 2020년 김영선 전 ASML코리아 대표를 부회장으로 영입, EUV PR 사업 진출 기틀을 마련했다. 지난해 초에는 EUV PR 연구개발(R&D) 인력을 추가 확보하면서 제품 개발에 박차를 가하기 시작했다.