제이아이테크, 삼성·SK하이닉스 10나노 DUV공정 '네온+헬륨' 90%↑적용…네온가스 공급사 가격 40배 넘게 뛴 네온가스 재활용 성공…삼성, 또 일냈다
'전량 수입' 반도체공정 핵심소재 내년부터 재활용…의존도 낮춰 탄소배출도 90% 넘게 줄어들어 공급망 안정·ESG '두 토끼' 잡아
삼성전자는 재활용 연구 과정에서 국내 소재 협력사 A사와 손잡았다. 공정에서 사용된 네온가스를 포집하는 기술은 삼성전자가 맡고, A사는 순도를 높이는 정제 과정을 거쳐 다시 삼성전자에 공급하기로 한 것. 삼성전자는 내년부터 필요한 네온가스의 75%를 재활용해 충당할 계획인 것으로 알려졌다.