가스의 성질과 안전성

[그림자(朴 鉉求)]

가스 명	산소	질소	아르곤	헬륨	수소	황화수소	암모니아	아산화질소
분자식	O2	N2	Ar 2	He 2	H2	H2S	NH3	N2O
분자량	32.00	28.01	39.95	4.003	2.016	34.08	17.03	44.01
외관 (상온 상압)	무색	무색	무색	무색	무색	무색	무색	무색
취기	무취	무취	무취	무취	무취	불쾌한냄새	자극냄새	감미한 향
가스밀도(kg/m2)0℃,1atm	1.429	1.251	1.783	0.1785	0.0898	1.539	0.7708	1.977
비중 (공기=1)	1.11	0.97	1.38	0.14	0.07	1.19	0.60	1.53
액체밀도 (kg/l) (b.p)	1.141	0.808	1.398	0.1248	0.0709	0.993	0.674	1.266
발화점 (℃)	-183.0	-195.8	-185.7	-268.9	-252.7	-60.2	-33.4	-88.6
융점 (℃)	-218.8	-209.9	-189.2	-272.2 (26atm)	259.1	-85.5	-77.7	-90.9
임계온도 (℃)	-118.4	-147.1	-122.5	-267.9	-240.2	100.4	132.4	36.5
임계압력 (atm)	50.1	33.5	48.0	2.26	12.8	89	112	130.5
물에 대한 용해도 (cc/100ccH2O) (0℃, 1atm)	4.89	2.35	5.6	0.97	2.1	437	89.9 (g/ 100g H2O)	130.5

표 2  수소화물의 물리적성질

가스 명	시란	지시란	포스핀	아르신	지보란	스치핀	세렌화 수소	수소화 텔르르	겔루망
분자식	SiH4	Si2H6	PH3	AsH3	B2H6	SbH3	SeH2	H2Te	GeH4
외관 (상온상압)	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체
취기	기분 나뿐 냄새	자극냄새	썩은 물 고기냄새	마늘냄새	비타민B 냄새	마늘냄새	마늘냄새	마늘냄새	마늘냄새
비중 (공기=1)	1.11	2297(bp)	1.18	2.70	0.95	4.33	2.81	-	2.66
액체밀도 (g/cc)	0.68 (-185℃)	0.901 (b.p.)	0.746 (-90℃)	1.604 (-64.3℃)	0.4698 (-12.0℃)	2.26 (-25℃)	2.004 (-41.3℃)	2.65 (b.p.)	1.523 (-142℃)
발화점 (℃,1atm)	-112	-14.3	-87.7	-62.5	-92.53	-17	-47.3	-2	-88.9
융점 (℃,1atm)	-185	-132.6	-133	-117	164.86	-88	-64.0	-49	-165
증기압	24.5atm (-30℃)	23.7atm (20℃)	36.6atm (21℃)	14.95atm (21.1℃)	28atm (0℃)	200mmHg (-47℃)	100mmHg (-74.2℃)	1.53atm (10℃)	210mmHg (-30℃)
임계압력 (atm)	48.0	50.84	64.5	65.14	39.5	-	91.0	-	54.8
임계온도 (℃)	-3.5	150.85	51.3	99.9	16.7	-	137	200	35
물에 대한 용해도	반응	알카리성 반응	20cc/100cc (20℃)	20cc/100cc (20℃)	반응	500cc/100 cc(상온)	377cc/100cc(4℃)	용해	-
비     고	상온에서 안전, 300℃.서 방전에너지로 분해.	시란보다 불안정. 실온으로 SiH4와 H2로 분해.	300℃ 이상에서 분해.	300℃ 이상에서 분해.	실온에서 서서히 분해	실온에서 쉽게 분해	160℃ 에서 분해.	실온에서분해. 반응은 빛 / 습기로  촉진	약200℃ 에서 분해하여 Ge 2와H2 가 된다.

1)          Hikaru.HARADA, J. Vac. Soc. Jpn., 28,494(1985).

표 3  할로겐화합물의 물리적성질

가스 명	3염화 붕소	3불화 붕소	염소	염화수소	4염화 탄소	3불화 메탄	6불화 에탄	8불화 프로판	5불화 인
분자식	BCl3	BF3	Cl2	HCl	CCl4	CFH3	C2H6	C3F8	PF5
외관 (상온 상압)	무색기체	무색기체	황록색 기체	무색기체	무색액체	무색기체	무색기체	무색기체	무색기체
냄새	마른풀 냄새	자극냄새	자극냄새	자극냄새	무취	무취	무취	-	자극냄새
비중 (공기=1)	4.70	2.33	2.49	1.27	5.35	-	4.8	-	-
액체밀도 (g/cc)	1.35	1.589	1.486(0℃ 3.65atm)	1.194 (-36℃)	1.47 (15℃)	1.437 (b.p.)	1.608 (b.p.)	1.608 (b.p.)	1.636 (-84.6℃)
발화점 (℃,1atm)	12.5	-100.3	34.05	-85.0	76.75	-82.0	-78.7	-36.7	-84.6
융점 (℃,1atm)	-107	-127.1	-100.98	-114.2	-23	-155.2	-100.7	-160	-84.6
증기압	100 torr (-32.4℃)	40 atm (-20℃)	6.6 atm (20℃)	100 torr (-114℃)	200 torr (38.3℃)	41.4 (20℃)	18 atm (0℃)	7.6 atm (20℃)	0.72 atm (-90℃)
임계압력 (atm)	38.2	49.2	76.1	81.5	-	47.75	29.8	26.46	33.5
임계온도 (℃)	179	-12.25	144	51.4	-	25.9	19.7	71.9	19.0
물에 대한 용해도	반응	반응	7.3 g/l (20℃)	82.3/100g (0℃)	0.08/100g (20℃)	0.1wt%	약간의 가수분해	-	반응
비     고	-	-	-	-	-	-	-	-	열적으로 안정. 건조 때 250℃의 유리를 침해 안함
가스 명	오키시 염화인	디클로로 시란	트리클로로 시란	4염화 규소	4불화 규소	3염화 인	3불화 인	3염화 비소
분자식	POCl3	SiH2Cll	SiHCl3	SiCl4	SiF4	PCl3	PF3	AsCl3
외관 (상온 상압)	무색투명 액체	무색기체	무색기체	무색투명 액체	무색기체	무색투명 기체	무색기체	유(油)상 액체
냄새	자극냄새	달고 신자극	자극냄새	자극냄새	숨막히는냄새	자극냄새	무취	-
비중 (공기=1)	5.32	3.51	4.70	5.90	3.61	4.77	-	6.29
액체밀도 (g/cc)	1.645 (25℃)	1.22 (7℃)	1.342 (20℃)	1.524 (0℃)	1.590 (-80℃)	1.574 (21℃)	1.13 (0℃)	2.150 (25℃)
발화점 (℃,1atm)	105.8	8.2	31.8	59	-94.8	76	-101.2	130.21
융점 (℃,1atm)	1.25	-12.2	-126.5	-70	-90	-112	-151.3	-16
증기압	100 torr (47.4℃)	100 torr (-36℃)	100 torr (-16.4℃)	100 torr (5.4℃)	100 torr (-113.℃)	100 torr (21℃)	9.5 torr (-50℃)	100 torr (70.9℃)
임계압력 (atm)	-	46.2	-	36.8	36.7	-	42.7	-
임계온도 (℃)	-	176	-	233.6	-14.2	290	-2.05	-
물에 대한 용해도	반응	반응	반응	반응	반응	반응	물로 서서히 분해	-
비     고	열로 분해 인의 염화물, 산화물 맹독성 fume형성	-	-	벤젠/ 텔클로로-홀무 에 용해	-	-	-	자외선 이용 분해

표 4   유기금속화합물, 알킬 금속의 물리적성질

	디메틸 아연	디에틸 아연	디메틸 카드뮴	디에틸 카드뮴
화학식	(CH3)2Zn	(C2H3)2Zn	(CH3)2Cd	(C2H3)2Cd
분자량	95.44 gmol-1	123.50 gmol-1	142.48 gmol-1	170.5 gmol-1
발화점	-29.2℃	117.6℃	105.5℃	64℃  at 19.5 torr
융점	44.0℃	-30℃	-4.5℃	*21℃
액체밀도	1.386 gmol-1  (10.5℃)	1.207 gmol-1  (20℃)	비중 1.9846	비중 1.6531
증기압	Log P = 7.802      - (1560/T) 10℃ → 194.8 torr	Log P = 8.28      - (2109/T) 10℃ → 6.7 torr	Log P = 7.764      - (1850/T) 10℃ → 16.9 torr	-
	3메틸 알루미늄	3에틸 알루미늄	3이소부틸알루미늄	3메틸 갈륨
화학식	(CH3)3 Al	(C2H5)3Al	(iC4H9)3Al	(CH3)3Ga
분자량	72.086 gmol-1	114.166 gmol-1	198.329 gmol-1	114.82 gmol-1
발화점	127.12℃	186.6℃	212.4℃	55.8℃
융점	15.28℃	-46.8℃	1℃	-15.7℃
액체밀도	0.752 gmol-1  (20℃)	0.839 gmol-1  (15℃)	0.7929 gmol-1  (15℃)	1.151 gmol-1  (15℃)
증기압	Log P = 7.3147   - (1534.1/(T + 220)) 10℃ → 4.4 torr	100℃ → 6.75 torr	100℃ → 11.6 torr	Log P = 8.07   - (1703/T) 10℃ → 112.8 torr
	3에틸 갈륨	3메틸 인듐	3에틸 인듐
화학식	(C2H5)3Ga	(CH3)3In	(C2H5)3In
분자량	156.906 gmol-1	156.93 gmol-1	202.4 gmol-1
발화점	142.6℃	135.8℃	184℃
융점	-82.3℃	88.4℃	-32℃
액체밀도	1.058 gmol-1  (30℃)	-	1.16 gmol-1  (20℃)
증기압	Log P = 8.224    - (1655/T) 10℃ → 237 torr	30℃ → 7.2 torr	75℃ → 10 torr

표 5-1   반도체가스의 화학적성질

	시란	디클로로시란	3클로로시란	4염화규소	4불화규소	디시란
분자식	SiH4	SiH2Cl2	SiHCl3	SiCl4	SiF4	Si2H6
물과의 반응성	가수분해 하여 4배의 수소가 생성 특히 알카리성 수용액으로  분해한	가수분해 하여 염산과 포리 시로키산의 혼합물이 생성	물과 세차게 반응하여 염산을 생성	가수분해 하여 규산과 염산이 생성	물과 반응하여 H2SiF6,SiO2·H2O, HF,SiO2를 생성	순수와 산과는 반응 안함 알카리와 반응 하여 수소와 규산이 생성
연소성	공기 중에서 자연발화	100℃이상 때 공기 중에서 자연발화 (E. R. 4.1∼98.8% )	공기 중에서 발연	-	불연성	공기 중에서 순식간에  발화
타물질과의 반응성	Cl2 등의 할로겐 가스와 거세게 반응	아세톤과 반응	-	알코올로 분해	600℃에서 SiCl4 와 반응하여 SiClF3,SiCl2F2 그리고 SiCl3F 가 생성	F2,Br2, NCl3,SF6 와 세게 반응
재료 사용상의 주의	부식성은 없음	미량수분의 존 재로 강산이 된다. 드라이 상태에서 불활성 Al, 황동, 스테인리스 강 등은 부식됨	물의 존재로 강산이 된다	물의 존재로 강산이 된다	산화 및 환원에 대해서 안정	탄소강,SUS,동,모넬,유리, 테프론, 나이론, 바이톤 Kel-F 등의 사용이 가능
	포스핀	3염화인	3불화인	5불화인	옥시시염화인	알신
분자식	PH3	PCl3	PF3	PF5	POCl3	AsH3
물과의 반응성	수화물을 생성	물에 의하여 분해하여 염산이 생성	물에 의하여 서서히 분해	물이 소량 있어도 분해하여 HF와 POF3을 생성	물과 반응하여 인산과 염산을 발생	가압하에서 수화물을 발생. 용존 산소에 의하여 As로 분해
연소성	공기 중에서 자연 발화	불연성. 산소와 서서히 화합하여 오키시염화린이 생성	공기 중에서 세게 발연 안  한다	공기 중에서 세게 발연 함	젖은 공기 중에서 세게 발연	공기 중에서 청백색 불꽃을 내여 타며 As2O3를 발생
타물질과의 반응성	Cl2 등의 할로겐 가스와 거세게 반응	HBr,HI와 반응한다. PCl3+3HX→ PX3+3HCl	수소와 가열하에 반응하여 PH3을 발생	3메틸아민과 강하게 반응. NH3,N2O4,NOF 등과도 반응	수산기를 가진 유기화합물과 반응	Cl2와  반응하여 HCl와 As가 된다. (E.R. 0.8∼ 98%)
재료 사용상의 주의	NH3보다 강한 환원성. 탄소강 SUS,모낼, 하스테로이 등 사용 가능	니켈강, 철,저합금강,니켈크롬강,태플론,Kel-F 등 사용가능	철 또는 유리용기에서 보존 한다	모낼, 잉커낼, 니켈,Kel-F 테플론 등 사용가능	스테인리스도 부식 당함. 보통 유리가 사용가능	강환원성. 탄소강,SUS,모낼, 놋쇠,테플론, 바이톤,나이론 Kel-F 등 사용가능

표 5-2   반도체가스의 화학적성질

	3염화비소	디보란	3염화붕소	3불화붕소	스티핑	세렌화수소
분자식	AsCl3	B2H6	BCl3	BF3	SbH3	SeH2
물과의 반응성	물로 분해하고 As(OH)3과 HCl이 생성	신속하게 완전히 가수분해 하여 붕산과 수소로 된다	용이하게 분해하여 염산이 생성	가수분해 하여 플루오르 붕산이 생성	젖은 유리관내에서 24시간으로 완전히 분해	가수분해
연소성	-	공기 중에서 자연발화 특히 젖은 공기 40∼50℃에서.	불연성	불연성	공기 중에서 연소하여 안티몬이 생성	공기 중에서 푸른색의 불꽃 을 내며 연소 하여 SeO2를 생성
기타 물질과의 반응성	AsCl3+NaOH→ NaH2AsO3+ 3NaCl + H2O	HCl 등의 할로겐가스와  세게 반응. NH3과도 반응.	피리징, 니토로 벤젠과 부가 화합물을 생성	알카리 그리고 알카리토류금속 에 의해 붕소와 금속불화물을 생성	염소와 세게 반응하여SbCl3 와 HCl을 발생. 알카리 반응 하여 급속히 분해	초산과 세게 반응. Cl2
재료사용상 주의	Mo,Ag,Au,P과는 반응 아니하며, Mg,Zn,Al,Sn, Pb,Cu과는 세게 반응	일반의 금속은 좋다. 고무, 구리스, 윤활유 는 불가. 사란,폴리에틸렌, 테플론은 사용 가능.	니켈크롬강, 니켈강,철 및 저합금강,니켈 하스테로이, 인코넬,데프론 Kel-F,유리는 사용 가능.	dry가스… 강,SUS,Cu, Ni황금,Al,모넬 사용가능. wet가스…Cu 경질고무, 파이 렉스 유리 사용가능	-	Al,SUS,탄소강 황동, 테플론 바이톤, 나이론 의 사용가능
	수소화텔루르	4수소화게르마늄	염소	염화수소	황화수소	암모니아
분자식	TeH2	GeH4	Cl2	HCl	H2S	NH3
물과의 반응성	젖은 공기에 접하면 바로 분해	시란과 비슷하지지만 반응성은 작다.	Cl2+H2O↔ HClO+HCl HClO→HCl + 1/2O2	반응은 안하여도 물에 잘 용해	수용액 중에서 전리평균 H2S↔H+ +HS- HS -↔H+ + S- -	비반응 물에 잘 용해
연소성	공기 중에서 점화하면 청백색의 불꽃을 내며 연소	시란과 같이 세게 연소 안함 E.R.0.8∼98%	지연성	O2에 대해서 안정	공기 중에서 청백색의 불꽃 을 내며 연소	공기 중에서 650℃이상에서 가연(O2 중에서 의 E.R.16∼25%)
기타 물질과의 반응성	염소와 세게 반응하며 텔루르의 염화물을 생성	-	H2와 폭발적으로 반응, 대부분 금속과 반응	F2와 세차게 반응. 많은 금속 과 반응하여 염화물과 수소를 생성	Cl2, Br2 과 강하게 반응. 대부분 금속과 습기의 존재하에 반응	할로겐과 세게 반응한 Hg과 반응하여 폭발성 화합물을 생성
재료사용상의 주의	-	탄소강,SUS,동 황동,모넬,하스테로이,Kel-F, 테플론,유리, 바이톤,나이론, 등사용가능	dry가스(액)… Steel ,SUS,주철 동합금,니켈합금,연이 사용가 wet가스… 모넬,하스테로이C,테플론이 사용가능	수분이 존재로 강산이 되며, 대부분의 금속을 부식. Baked carbon, graphite가 사용가능	Al,SUS316은 wet에서도 사용 가능.  건조하면 동도 사용가능	알칼리성, 부식성이 강하다. 철,SUS는 사용가능. 동,석,아연 과 그의 합금은 불가능. packing는 연(鉛)아스베스트가 좋다.

표 5-3   반도체가스의 화학적성질

	아산화질소	4염화탄소	3불화메탄	6플루오르 에탄	8플루오르 프로판
분자식	N2O	CCl4	CHF3	C2F6	C3F8
물과의 반응성	반응 안함	반응 안함 그러나, Fe, Al의 작용으로 가수분해	반응 안함	약간 가수분해	-
연소성	지연성	불연성	불연성	불연성	고온의 공기 중에서도 불연
기타 물질과의 반응성	유기물 알카리 금속을 산화	알카리와 가열하면 분해	가연성 가스와 혼합하여 점화하면 분해하며 유독가스 발생	가연성 가스와 혼합하여 점화하면 분해하며 유독가스 발생	가연성 가스와 혼합하여 점화하면 분해하며 유독 가스 발생
재료 사용상 주의	부식성은 없음	철과 알루미늄 의 작용으로 가수분해 CCl4 +H2O → CO2 +4HCl	부식성은 없음	부식성은 없음	부식성은 없음

표 6 위험성의 종류와 가스

질식성	Ar2,N2, CO2
지연성	O2, 공기
가연성	GeH4, AsH3, PH3 , SiH4, B2H6, SiH2Cl2, SiHCl3, H2
폭발성	CH4, C2H2, C3H8, H2S, CO
독성	AsH3, B2H6, PH3, SiH4, C2H2, BF3, NH3, CO, H2S, Cl2, HCl, BCl3, PCl3, SiCl4
부식성	NH3, HCl, Cl2, H2S, BF3, PCl3, SnCl4, SiCl4

표 7-1    반도체가스의 생체 유독 작용

물질명

분자식

생    체   작    용

비  고

허 욜 농 도 (ppm)

자극성,부식성

질식성

장 기 독 성

치 산 식증

피 부

눈 · 상기도

기관지

폐포 肺 胞

산 소 희 석

Hb 친 화 성

용 혈

간 장 해

뇌 신 경 계

심 장

신 장

위 장

뼈

일산화질소

NO

○

○

○

대기중에서 산화 메토헤모글로빈 혈증

25

이산화질소

NO2

○

○

○

○

메토헤모글로빈 혈증

5

암모니아

NH3

○

○

○

○

50

염소

Cl l2

○

○

○

○

○

1

염화수소

HCl

○

○

○

○

○

5

브롬화수소

HBr

○

○

○

○

○

3

불화수소

HF

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

골경화증,장기문상균

3

과산화수소

H2O2

○

○

○

○

1

황화수소

H2S

○

○

○

호흡마비

○

○

○

10

질소

N2

○

-

아산화질소

N2O

○

○

-

아르곤

Ar2

○

○

-

헬륨

He2

○

-

수소

H2

○

폭발성

-

이산화탄소

CO2

○

○

6%로 호흡곤란, 10%로 이식소실

5,000

6불화유황

SF6

○

1,000

6불화에탄

C2 F6

○

F1,F4,F5화물은 포스핀과같은 작용을 함

-

8플루오르 프로판

C3 F8

○

-

4염화탄소

CCl4

○

○

○

1회 폭발로 장해발생

10

4불화탄소

CF4

○

○

-

3불화질소

NF3

○

○

○

○

메토헤모글로빈 혈증

10

프론12

CCl2F2

○

○

○

1,000

프론13

CClF3

○

○

-

프론113

C2Cl3F3

○

○

1,000

프론114

C2Cl2F4

○

○

1,000

플루오르호름

CHF3

○

○

프론23

-

3염화 인

PCl3

○

○

○

○

○

○

가수분해로 아린산과HCl

0.5

5불화 인

PF5

○

○

○

○

○

가수분해로 인산과HF

-

옥시염화인

POCl3

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 인산과HCl

0.5

포스핀

PH3

○

○

○

○

○

○

○

악골괴저(顎骨壞疽) 자연발화성

0.3

아르신

AsH3

○

○

○

○

○

○

폐괴저(肺壞疽)

0.05

3염화비소

AsCL3

○

○

○

○

성문수종 (聲門水腫)

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 As2O3와 HCl 발암성

0.2mg/ m3 as As

3불화비소

AsF3

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 As2O3와 HF 발암성

-

5불화비소

AsF5

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HF, As2 O3 말초신경 발암성

-

지보랑

B2H6

○

○

○

○

○

CCl4, Cl2, CS2 등과 접촉폭발

0.1

3염화붕소

BCl3

○

○

○

가수분해로 HCl

-

3불화붕소

BF3

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 지보랑과HF

1

3브롬화붕소

BBr3

○

○

○

○

가수분해로 HBr

-

3요오드화 붕소

BI3

○

○

○

○

가수분해로 I

-

시란

SiH4

○

자연발화성

0.5

4불화규소

SiF4

○

○

○

○

○

○

골경화증

-

4염화규소

SiCl4

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HCl

-

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            표 7-2    반도체가스의 생체 유독 작용

물질명

분자식

생    체   작    용

비  고

허 욜 농 도 (ppm)

자극성,부식성

질식성

장 기 독 성

치 산 식증

피 부

눈 · 상기도

기관지

폐포 肺 胞

산 소 희 석

Hb 친 화 성

용 혈

간 장 해

뇌 신 경 계

심 장

신 장

위 장

뼈

트라이클로로 시란

SiHCl3

○

○

○

○

가수분해로 HCl

-

디클로로시란

SiH2Cl2

○

○

○

○

가수분해로 HCl

-

3수소화게르마늄

GeH3

○

○

자연발화성

0.2

수소화안티몬

SbH3

○

○

○

○

-

0.1

수소화셀렌

SeH2

○

○

○

-

0.05

수소화텔루르

TeH2

○

○

○

○

○

수분으로 수산화물  형성

0.1mg/m3 as Te

디메칠텔루르

(CH3)2Te

○

○

-

0.1mg/m3 as Te

디에칠텔루르

(C2H5)2Te

○

○

-

디메칠카드뮴

(CH3)2Cd

○

○

○

○

○

○

불활성 기류 중에서 가열로 폭발

0.1mg/m3 as Cd

디에칠아연

(C2H5)2Zn

○

○

○

자연발화

-

트리메칠인

(CH3)3P

○

○

○

○

○

-

-

트리에틸인

(C2H5)3P

○

○

○

○

-

-

트리메칠비소

(CH3)3As

○

○

○

○

○

○

○

○

발암성

0.05mg/m3 as As

트리에칠비소

(C2H5)3As

○

○

○

○

○

○

○

○

발암성

0.05mg/m3 as As

트리메칠길륨

(CH3)3Ga

○

○

○

○

○

H2O로 분해

-

트리에칠갈륨

(C2H5)3Ga

○

○

○

○

○

-

-

트리메칠 안티몬

(CH3)3Sb

○

○

○

○

○

○

○

○

-

-

트리에칠 안티몬

(C2H5)3Sb

○

○

○

○

○

○

○

○

-

-

트리에칠 알루미늄

(CH3)3Al

○

○

○

○

공기 중에서 자연발화

-

트리메칠 알루미늄

(C2H5)3Al

○

○

○

○

공기 중에서 자연발화

-

디메칠수은

(CH3)3Hg

○

○

○

○

-

0.001

디에칠수은

(C2H5)3Hg

○

○

○

○

-

0.001

4염화 게르마늄

GeCl4

○

○

○

○

-

-

4염화주석

SnCl4

○

○

○

○

가수분해로 HCl

-

5염화안티몬

SbCl5

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HCl

0.5mg/m3 as Sb

불소화탄탈

TaF5

○

○

○

○

○

○

○

○

공기 중 H2O로 HF 골경화(骨硬化) 증

-

불화텅스텐

WF5

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HF 골경화(骨硬化) 증

-

불화몰리브덴

MoF6

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HF 골경화(骨硬化) 증

-

불화티탄

TiF4

○

○

○

○

○

○

○

○

가수분해로 HF 골경화(骨硬化) 증

-

4염화티탄

TiCl4

○

○

○

○

○

공기 중 H2O로 HCl

-

비소화갈륨

GaAs

○

○

○

○

○

○

만성접촉으로 폐암 말초신경

-

polysilicon 중간체

CnHnCln -Si

○

○

○

○

-

-

표 8  인체에 대한 독성

가스	독          성	허용농도 (ppm)
시란	흡입으로 호흡기를 매섭게 자극, 급성의 국소자극작용이 강하며 전신 및 만성적인 영향에 대해서 미확인	0.5
포스핀	급성…두통, 흉부불안, 구토, 악감, 횡격막의 동통 만성…소화기장해, 황달, 비인두 자극, 구내염, 빈혈	0.3
디보랑	흡입하면 폐를 자극, 폐수종,간장,신장을 침범한다. 기침,호흡곤란, 전흉부 만의 고통,구토	0.1
알신	급성…헤모글로빈과 결합하여 급격한 적혈구의 저하를 시키며         강한  용혈이 나온다. 두통,구역질,현기증 만성…점차 적혈구가 파괴된다. 요에 단백이 난다	0.05
3염화붕소	습기로 가수분해 하여 염산과 붕산을 생성하며 피부, 점막(粘膜)을 침해한다. 폐기종, 기관 상부에의 자극	(BBr,1) (BF,1)
디클로로시란	흡입한 경우 호흡기 상부를 매섭게 자극하여 목이 메며 기침이 난다. 눈, 피부, 점막에 접촉하면 화상이 난다	-
암모니아	흡입으로 호흡기의 부종(浮腫),성문의 경련,질식을 일으킨다.  피부 점막에 대한 자극성, 부식성이 강하다	25
스티핑	아르신 의 생체에 미치는 독성과 같다. 과도의 피폭에서는 헤모글로빈 요( 혈색요소 )를 배설	0.1
세렌화수소	결막자극과 호흡이상, 폐수종, 악심, 구토, 구강(口腔)의 금속 취기 현기증,호흡의 마늘냄새, 사지권태(四肢倦怠)	0.05
염화수소	피부,점막을 침해, 아픔을 동반하여 화상을 이른다. 눈에 접하면 자극, 흡입하면 호흡기자극시 질식이 나며 폐기종, 인두경축	5

표 9   적정 재료의 예

	적 정 재 료	주 의 재 료
6불화유황	부식성이 없고 일반 금속으로 가 150℃에서는 동, 스테인리스강, 알루미늄	-
4불화규소	건조가스에서는 일반 금속으로 가	수분 존재하에서 부식성
3염화붕소	건조가스에는 부식성이 없음	수분 존재하에서는 염화수소에 견디는 재료
프레온14	부식성이 없고 일반 금속으로 가	-
염화수소	건조가스에서는 스테인리스강, 연강	수분 존재하에서 은,백금, 탄탈 이외는 부식
일산화탄소	부식성이 없고 일반 금속으로 가	산소와 수분으로 부식
암모니아	철, 동	동, 아연, 주석등의 합금. 수은은 불가.
지보란	많은 일반적 금속은 부식 안함	고무, 그리스 유는 침해 당함. 설비설계는 전문가가 해야 된다.
포스핀	열분해에 견디는 철, 동	충분히 내압을 가진 설계로 한다.
알신	열분해에 견디는 철, 동	충분히 내압을 가진 설계로 한다.
시란	열분해에 견디는 철, 동	충분히 내압을 가진 설계로 한다

출처:푸른하늘(gogas) http://cafe.naver.com/okgas.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=937