반도체 ,디스플레이 이송장비

1, 디스플레이 업체 설비투자 시 수혜 반도체 이송장비란(EFEM) <1>반도체 전공정 장비전반을 컨트롤 하고 웨이퍼를 이송.<2>LCD 이송장비(Index System)는 LCD 패널 생산공정에서 사용되는 물류장비로 유리기판을 이송.<3>반도체 이송장비의 구성모듈은 로드포트 모듈(LPM), 대기이송모듈(ATM), EFEM 소프트웨어 등. EFEM 종류는 로드포트 모듈의 수량과 대기로봇의 주행타입에 따라 구분되며, 로드포트 모듈 수량은 일반적으로 과정 시간 및 고객 사양에 따라 다름.<4>반도체 생산과정을 살펴보면, 반도체 생산 라인에 있는 이송용 로봇이 웨이퍼가 담긴 풉(FOUP)을 각 공정 장비로 옮김.<5>로드포트 모듈은 풉 도어를 열음. <6>이후 EFEM을 거쳐 이송모듈(TM)로 웨이퍼를 공정용 챔버(chamber)로 옮김.<7>챔버는 각 공정 장비마다 탑재된 웨이퍼 가공 공간을 말함. <8>웨이퍼가 삽입되면 챔버 속은 진공 상태. <9>그 속에서 각종 특수가스 재료를 활용해 박막을 씌우거나 패턴에 맞춰 박막을 깎아냄.<10>공정을 마친 웨이퍼는 다시 EFEM을 거쳐 품으로 들어가 다음 공정 장비를 이송.<11>이송장비 업체 실적은 반도체(삼성전자, SK하이닉스)와        디스플레이(삼성디스플레이, LG디스플레이, 중국LCD업체) 설비투자 시 수혜. 2,반도체 ,디스플레이 이송장비 관련주 <1>저스템  (1)반도체 제조장비의 환경제어 시스템인 습도    제어 솔루션(N2 Purge system) 개발·제조  (2) 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론, HPSP 등에 공급.  (3) N2 Purge system 은 반도체 웨이퍼 이송 및 보관을 위한 기술 <2>라온테크(1) 반도체(웨이퍼) 이송모듈, 진공로봇, 자동화시스템 등 개발·생산.  (2) 최종 고객사는 SK하이닉스, 삼성전자 등.3S-0.87%반도체(웨이퍼) 이송장비 제조사 (3) 본업은 냉·난방 환경시험설비(에어컨 압축기 등) 시공사 <3>싸이맥스     반도체(웨이퍼) 이송장비 제조사. <4>로체시스템즈    (1)반도체/디스플레이 제조 장비 업체.    (2) 디스플레이 후공정 이송장비가 주력 장비이며       그 외에 웨이퍼 이송장비, 컷팅 장비 등도 제조.   (3) 주요 고객사는 삼성디스플레이 <5>에스에프에이  (1) 반도체(웨이퍼),   (2)디스플레이(유리기판) 이송장비 제조사. <6>3S (1) 1991년 1월 28일에 설립되었으며, 2002년 4월 23일 코스닥시장에상장함 (2) 반도체 웨이퍼캐리어 사업과 환경장치 사업을 주요 사업으로 영위  (3) 종속회사인 상해삼에스공조기술유한공사는 환경시험장치 사업을 수행하고 있음  (4)  반도체 웨이퍼캐리어 사업은 반도체 주재료인 실리콘 웨이퍼를     운송할때 사용되는 웨이퍼 이송박스를 생산하는 사업이며      모든 전자 기기의 핵심 부품임.