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<P>안녕하세요..엔피코(Enfico)입니다.</P>
<P>광학두께 모니터링 및 공정을 수행 할수 있는 공정제어기 OMD/C1을 개발하였습니다.</P>
<P> -다층(process 10, 100 Layers per process) 증착<BR> -모니터 그라스를 최대 100 Point 까지 지정 가능(FRISM-I / O)<BR> -기존 진공장비의 제어시스템(PLC)과 릴레이 접점(입력 8점, 출력 8점)을 사용한 인터페이스가 가능.<BR> -3가지 레이어-컷 모드 (오버 슈트, 레벨 컷, 피크 컷)<BR> -OMD-7000 및 FRISM-I/O와 연동<BR> -컴퓨터(PC)가 필요하지 않음.<BR> -32개의 Material 데이터 <BR> -프로세스가 시작되기 전에 모니터 글래스의 잔량을 체크<BR> -레이어-컷 지점 미검출시 Max Time에 의해 자동으로 정지<BR> -굴절률(Refractive index)이 자동으로 계산<BR> <BR> <BR> 많은 관심 부탁드립니다.</P>
<P> <A href="http://www.enfico.com">www.enfico.com</A><BR></P>
<P style="TEXT-ALIGN: center"><img src="https://t1.daumcdn.net/cfile/cafe/2619273654816B6627" class="txc-image" style="FLOAT: none; CLEAR: none" data-filename="fig02 복사.jpg" exif="{}" actualwidth="1024" border="0" hspace="1" vspace="1" width="1024" id="A_2619273654816B66272B54"/></P>
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광학두께 모니터링 및 공정제어기 OMD/C1을 출시 하였습니다
박민서
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조회 113
14.12.05 17:23
댓글 3
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첫댓글 박사장님 인녕하세요
안녕하세요...오랜만 입니다.
멋집니다~