ArF감광제는 아르곤(Ar)과 플로라이드(F)의 화합물로 사진공정에 필요한 193nm의 빔을 발생시켜 최소 0.07미크론까지 초미세회로 선폭을 형성할 수 있다.
첫댓글 잘보고갑니다 감사합니다
잘봤습니다^^
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