제가 코팅쪽은 잘 모르지만 박막만 놓고 본다면 CrN 자체의 스트레스와 SUS304와 CrN의 격자 상수 불일치에 따른 스트레스 때문에 후속공정에서 표면에 결함이 발생하는 것으로 보입니다. 증착조건(즉, 공정 프로세스가 확립되어 있지 않거나 공정윈도우가 매우 좁은 현상인 것 같습니다.)
금속에 금속 코팅을 하는 업체는 아니지만 필요에 따라 코어면에 크롬 코팅을 합니다. 스퍼터장비가 없어 부득이하게 열증착으로 코팅을 하였지만 물리적 특성은 쓸만하였습니다. 코어는 서스위에 크롬 도금이 되어 있어 상황이 좀 다르지만 세정에 신경을 많이 썻고 예열-heating-cooling-증착-진공상태에서 cooling으로 작업을 진행 하엿습니다. 기판특성이 달라 도움이 되지 않겟지만 저희 코어 작업 내용입니다. 좋은 하루 되세요.
첫댓글 초발수를 Top 층으로 올리면 그나마 도움이 되지 싶습니다.
맞습니다. 초발수를 top에 올리면 도움이 되나 비용문제로 초발수없이 생산하는 것을 목표로 하고 있습니다.
서스 기판이면 고열 코팅을 해보세요.
Metal 소재의 기판은 세정 및 공정 조건이 중요합니다. 혹 증착설비가..?? Arc인가요? 가능하면 온도를 높게 설정하여 조건 잡으시는게..
증착장비는 sputter입니다. 증착온도가 높을 경우 SUS 표면의 부동태층이 파괴되어 악영향을 미치지 않나요? 혹시 증착온도가 어느정도인지???
제가 코팅쪽은 잘 모르지만 박막만 놓고 본다면 CrN 자체의 스트레스와 SUS304와 CrN의 격자 상수 불일치에 따른 스트레스 때문에 후속공정에서 표면에 결함이 발생하는 것으로 보입니다. 증착조건(즉, 공정 프로세스가 확립되어 있지 않거나 공정윈도우가 매우 좁은 현상인 것 같습니다.)
금속에 금속 코팅을 하는 업체는 아니지만 필요에 따라 코어면에 크롬 코팅을 합니다. 스퍼터장비가 없어 부득이하게 열증착으로 코팅을 하였지만 물리적 특성은 쓸만하였습니다. 코어는 서스위에 크롬 도금이 되어 있어 상황이 좀 다르지만 세정에 신경을 많이 썻고 예열-heating-cooling-증착-진공상태에서 cooling으로 작업을 진행 하엿습니다. 기판특성이 달라 도움이 되지 않겟지만 저희 코어 작업 내용입니다. 좋은 하루 되세요.