스크랩 반도체 제조공정의 필수품! 쿼츠(Quartz)를 절단하는 레이저

[김상경]

쿼츠(Quartz)를 절단하는 레이저

반도체 제조공정에 없어서는 안되는 것이 석영(쿼츠, Quartz )이다.

쿼츠가 이용되는 이유는 쿼츠의 화학적 성분때문이다.

투명 석영 GLASS는

1. 고순도의 무수규산을 높은 온도에서 용융하기 때문에 불순물의 함량이
거의 없으며,SIO2 99.99% 이상의 순도.

2. 반도체 산업에서는 고온에서 안정성이 높다.

3. 전기전도를 생기게 하는 알카리 성분을 거의 포함하고 있지 않아 부도체(不導體)이다.

4. 화학적 성분이 우수하고 내산성이 매우 강하다.

쿼츠를 절단하는 방법은 크게 2가지로 나뉜다.

1.      레이저로 절단한다.

CO2레이저를 이용하여 절단한다. 물론 절단 속도는 느리다.

절단후 생기는 크랙은 바로 열처리를 하면 없앨수 있다.

판재나 튜브타입을 절단한다.

레이저 헤드(토치)는 접촉식 헤드를 사용한다.

일본 NTC사 에서 제작한 TLV-404 / 2kw를 추천한다.

가공범위 : 1250 x 1250mm

표준 장비일 경우 장비가격은 2억 9천만원 정도.

2.      워터젯으로 절단을 한다.

쿼츠 두께가 15mm 이상인 경우 어느 것으로 자르든 2차 가공이 필요하다.

워터젯을 이용하면, 빠르게 절단할 수 있다.

미국 OMAX 사의 2626 / 30hp을 추천한다.

가공범위 : 660 x 660mm

장비 가격은 대략 1억3천만원 정도.

더 궁금하신 것이 있으면 연락주십시요.

Model  2626

 


Model 2626 JetMachining? Center은 고정밀 부품가공에 가장 적합하도록 제작되었습니다. Model 2626 JetMachining? Center는 금속, 프라스틱, 유리, Quartz, Pyrex, 세라믹, 복합재료,

기타 어떠한 재료를 CAD /CAM ( DWG file )을 DXF 화일로부터 직접±0.003"(0.076mm) 이내의

정밀도로서 복잡한 형상을 가공 할 수 있습니다.

그 외에 열처리된 고 경도의 재질, 반사체, 비전도성물질 역시 가공 할 수 있으므로 현존하는

기계 가공 능력을 자연스럽게 증가시켜 줄 수 있습니다. Model 2626 JetMachining? Center는

단 기간 내에 다량의 부품생산, 짧은 시간 내에 부품 개발의 원형을 제작하는데 이상적입니다. 또한 공구교환이나 복잡한 고정치구가 필요 없으므로 컷팅 시간을 최소한 50%이상을 절감할

수 있습니다. 그리고 절단면의 매끄러운 마무리는 정밀사상을 요구하지않을 경우

2차 기계가공의 필요성을 배제해도 될 정도로 품질의 안정성을 확보할 수 있습니다.

그 결과 Model 2626 JetMachining? Center는 귀사의 수익성을 획기적으로 증가시키리라

확신합니다.

일반적인특징

Windows XP로 제작 특허 출원된 "Compute First - Move ater" On-Line 지원과함께

   CAD/CAM Window    Based Software를 포함한 운전제어 시스템
최소한에 작업 훈련으로 모든 작업을 쉽게 할 수 있는 다양한 소프트웨어
무부하 선형베어링과 정밀 볼스크류
정밀한 X-Y축 Cutting 테이블에 일체형으로 고정
완벽한 보호장치 : 물, 먼지, 기타 이물질 침입을 철저히 차단
빠른 물수위 조절 : Cutting 테이블내의 물수위 자유자재로 조절
내구력있는 Abrasive 공급시스템 : 특수하게 제작된 Maxjet5 Nozzle
초고압력 Direct Drive 펌프
Motorized Z축 ( Option )
견고한 구조물
 
Abrasivejet 이점

공작물의 재질과 두께에 상관없이 폭넓게 가공
자국이 남지 않고 깨끗하게 가공되는 샤프한 모서리
제품에 영향을 끼치는 열이나 구조변형이 생기지 않음
대부분의 수중절단 작업은 소음정도가 80db이하에서 완료
신속한 셋업, 공구교환이 필요 없음
제품을 고정시키는 최소한의 고정공구만 필요
작업공정 내에 유해가스, 액체나 기름이 사용되지 않아 환경오염의 염려가 전혀없음

사양

장 비 규 격	설치   면적                57" × 55"          (1,450 mm × 1,400 mm) 중       량                    2,810 Lbs          (1,275 kg) 높       이                    92"                   (2,340 mm) 설치후 중량              5,240 Lbs          (2,375 kg)   (탱크내 물 포함)
작 업 범 위	최대공작범위           26" × 26"         (660 mm × 660 mm) 테이블사이즈           40" × 29"         (1,020 mm × 730 mm)
컴   퓨   터 제어시스템	하드웨어         퍼스널 컴퓨터 ( Windows XP ) 소프트웨어      PC Based, DXF 파일을 직접 사용할 수 있는 통합CAD/CAM
정   밀   도	Over entire travel     ±0.003"           (0.076 mm) Over 1 foot travel     ±0.002"           (0.051 mm) 반복성                       ±0.0013"          (0.033 mm) 직각도                       0.0013" per ft       (0.11 mm/m) 직진도                       0.0017" per ft       (0.14 mm/m)   백래쉬                       0.0007" max        (0.018 mm) (Specifications per National Machine Tool Builders Association Standard)
속          도	표준사양기준 : 분당 200 inch (5,080 mm), 스피드는 더 빠르게 할 수 있음
공 급 전 원	208- 230 VAC  한국(CE) : 380 - 440 VAC, 60 Hz / 3Phase
PUMP 옵션	20 hp ( 42,000 psi ) 2,895 Bar  30 hp ( 50,000 psi ) 3,447 Bar  40 hp ( 55,000 psi ) 3,792 Bar
소 음 정 도	Cutting 작업시 80db 이하

OPTION 사양

연질의 재질 Cutting을 위한 Water 전용 노즐
MiniJet ( 노즐 0.5mm )
Tit-A-Jet ( Zero Taper )
Motorized Z축
Precision Optical Locator ( 카메라 장비 )
Soids Remove System( 슬러지 제거 시스템 )
250kg Abrasive Delivery System ( 연마제 공급 시스템 )