온실가스를 분해하는 마법의 굴뚝 운영
지난해 사람들이 가장 많이 검색한 단어는 무엇일까?
구글코리아에 따르면 2022년 올해의 검색어 1위는 기후변화였다.
기후변화는 모두에게 일상적인 주제가 되었다.
삼성전자 반도체는 이미 오래 전부터 기후 위기에 대한 문제의식으로 지속가능경영의 가치를 강조해왔다.
1992년 삼성환경선언, 2009년 녹색경영비전에 이어 2022년 신환경경영전략을 선언하며 기후 변화 극복에 앞장서고 있다.
특히 지난 2021년에는 30년산 소나무 9천2백만 그루가 10년 동안의 흡수해야 하는 총 603만톤의 온실가스를 감축하는 성과를
거뒀다.
반도체 제조 공정에 불가피한 온실가스 감축을 위해 삼성전자 반도체는 어떤 노력을 해왔을까?
생산라인 건물 옥상을 든든하게 지키는 대용량 통합 온실가스 처리시설
삼성전자 반도체 사업장 생산라인 건물 옥상은 '정글'을 연상시킨다.
온실가스 처리 시설 배관이 옥상에 빽빽하게 배치되어 있기 때문이다.
2007년 삼성전자 반도체는 삼성엔지니어링과 공동 개발을 통해, 2019년 업계 최초로 대용량 통합 온실가스 처리시설을 적용했다.
이는 바로 업계에서 삼성전자 반도체만이 유일하게 사용하는 대용량 통합 온실가스 처리 시설 RCS(Regenerative Cataylic System)다.
RCS는 촉매를 사용해 공정가스를 옥상에서 통합 처리하는 시설이다.
모든 설비의 배출구가 옥상으로 연결되어 있는 점이 특징이며 타사의 개별처리시설(POU Point of use)과 달리 낮은 온도에서도
공정가스 처리가 가능해 연료 사용을 절감하고 대기 오염 물질도 감소시킨다.
삼성전자 반도체는 RCS의 신규 촉매를 개발하며 100% 처리효율을 향한 도전을 이어가고 있다.
공정에서 소비되는 에너지까지
세심하게 챙기는 삼성전자 반도체
반도체 생산 과정에서 사용되는 각종 설비 구동에 사용되는 에너지를 만들어내는 과정에서도 온실가스는 발생한다.
삼성전자 반도체가 공정내 에너지 사용을 줄이기 위해 노력하는 이유가 바로 여기에 있다.
공조기, 냉동기, 공압기, 펌프 등 기본적인 반도체 공정 설비 가동률을 최적화하고 클린룸 입출구의 누기 차단 및 양압 유지용 외기공급량도 조정해 에너지를 절감한다.
이 밖에도 냉동기 효율 향상을 위한 응축기 자동 세정 장치 설치 등 다양한 공정 특성에 알맞은 프로젝트를 추진하고 있다.
삼성전자 반도체는 공정에서 사용하는 전력과 도시가스 사용량도 줄었다.
전력 사용량 절감을 위해 선제적으로 고엊ㅇ을 개선하고 부대설비 운전 온도 조건을 갯너하고 고효율 설빌루 살행해 전력 소모를 최소화했다.
도시가스는 냉각수 시스템과 열교환기를 할용한 폐열 회수 시스템'과 외조기 공기 온도 및 유량 조정 등을 통해 LNG 사용량을 감축시켰다.
특히 폐열 회수 시스템을 통해 2021년 전체 사업장에서 온실가스 사용량 5.7만 톤을 절감하는 결과를 얻을 수 있었다.
공정가스 사용량 저감과 대체 가스 개발로 온실가스 발생량 감축
삼성전자 반도체는 온실가스 발생량도 근본적으로 줄이기 위해 노력하고 있다.
우선, 공정가스 사용량 자체를 저감시키기 위해 더 효율적인 공정 과정에 대해 고민해왔다.
일례로, 반도체 라인 공정가스 투입량을 줄이기 위해 공정 시간, 공정 단계 및 공정법 최적화를 통해 온실가스를 지속 감축시키고
있다.
지구온난화지수가 낮은 공정가스 개발도 삼성전자 반도체의 또 다른 혁신이다.
삼성전자 반도체 주요 공정 중 불필요한 부분을 깎는 식각 공정(Etch), 불순물을 주입하는 확산 공정(Diff), 기판에 박막을 증착하는 공정(CVD), 전기신호를 연결하는 금속공정(Metal) 등 4대 공정에 적용하는 과불화탄소(PFCs)의 대체 가스 개발했다.
이를 통해 2018년부터 일부 제품의 공정에서 주요 온실가스 중 하나인 과불화탄소 가스를 대체할 수 있게 되었고
대체가스의 연구 개발을 지속하고 있다.
사업장 내 주차 공간까지 활용하여
재생에너지 사용 확대에 적극
삼성전자 반도체는 온실가스를 줄이기 위해 재생에너지 사용도 확대시키고 있다.
2018년 6월 삼성전자 반도체는 2020까지 미국, 중국 지역의 모든 사업장에서 100% 재생에너지 사용을 추진하는 계획을 발표했고, 목표보다 1년 이른 2019년에 조기 달성하는 성과를 거두었다.
국내 사업장에서는 태양광 시설, 지열 히트펌프 설치해 일부 사무실 전력으로 사용 중이다.
특히, 삼성전자 반도체의 태양광 발전 설비는 2013년 화성캠퍼스를 시작으로 기흥, 평택, 천안/온양캠퍼스 등에 순차적으로
설치했다.
충분한 일조량 확보를 위해 넓은 부지가 조성된 각 켐퍼스 주차장에 태양광 발전 시설을 설치해 전력 생산과 동시에 태양광 페널이 차양막 역할을 하여 차를 보호해 임직원들의 편의 또한 높였다.
***삼성전자 반도체는 지난 1월 미국 라스베이거스에서 열리는 세계최대 전자 전시회인 'CES 2023'에서 혁신적인
'대용량 통합 온실가스 처리시설(RCS)'을 처음으로 소개하며, 온실가스 감축을 선도하는 기업으로 인정받았다.
온실가스 배출의 최소화를 넘어 '제로화'에 도전하는 삼성전자 반도체의 행보가 주목된다.